[实用新型]溅射镀膜用夹治具

权利要求书

1.一种溅射镀膜用夹治具，其特征在于：包括底板、盖板及连接件，所述底板上形成有凹部，所述盖板上具有与所述凹部配合的第一通孔，将待镀膜基板放置于所述凹部，所述盖板盖设于所述底板上使所述待镀膜基板的至少部分通过所述第一通孔外露；所述底板与所述盖板通过所述连接件连接。

2.根据权利要求1所述的溅射镀膜用夹治具，其特征在于，所述第一通孔的孔壁周侧形成有第一台阶部以遮挡所述待镀膜基板的部分区域。

3.根据权利要求1所述的溅射镀膜用夹治具，其特征在于，所述凹部为贯穿所述底板的第二通孔，所述第二通孔的孔壁周侧形成有第二台阶部以承托所述待镀膜基板。

4.根据权利要求1~3任意一项所述的溅射镀膜用夹治具，其特征在于，所述凹部的数量为多个，多个所述凹部在所述底板上间隔均匀布设。

5.根据权利要求1~3任意一项所述的溅射镀膜用夹治具，其特征在于，所述盖板上形成有第三通孔，所述底板上具有与所述第三通孔配合的定位柱，所述盖板盖设于所述底板上使所述定位柱穿过所述第三通孔。

6.根据权利要求5所述的溅射镀膜用夹治具，其特征在于，所述定位柱的数量为多个，多个所述定位柱在所述底板上均匀间隔布设。

7.根据权利要求1~3任意一项所述的溅射镀膜用夹治具，其特征在于，所述盖板上形成有第四通孔，所述底板上具有与所述第四通孔配合的螺纹孔，所述连接件为螺钉，所述螺钉穿过所述第四通孔并螺接于所述螺纹孔内使所述底板与所述盖板连接。

8.根据权利要求7所述的溅射镀膜用夹治具，其特征在于，所述第四通孔及所述螺纹孔的数量均为多个，多个所述第四通孔均匀间隔布设在所述第一通孔的周侧，多个所述螺纹孔均匀间隔布设在所述凹部的周侧。

9.根据权利要求1~3任意一项所述的溅射镀膜用夹治具，其特征在于，所述底板的横截面呈圆形，所述盖板的横截面具有相对设置的两直边及相对设置的两弧形边，且所述直边与所述弧形边间隔布设，以使所述盖板与镀膜机的卡塞配合。

10.根据权利要求1~3任意一项所述的溅射镀膜用夹治具，其特征在于，所述第一通孔在所述盖板所在平面上的投影的角部向外凸出呈弧状；和/或所述凹部在所述底板所在平面上的投影的角部向外凸出呈弧状。