[实用新型]一种带沟槽的聚氨酯抛光垫

说明书

本实用新型涉及抛光垫技术领域，公开了一种带沟槽的聚氨酯抛光垫，包括基垫，基垫顶面设有底胶层，底胶层上表面设有弹性软垫，弹性软垫顶面设有粘合剂层，粘合剂层上表面设有隔水层，隔水层顶面设有缓冲层，缓冲层顶面设有抛光柱，抛光柱上表面设有排屑组件，排屑组件包括横向凹槽，横向凹槽连接竖向凹槽，并与其将抛光柱垂直平分，横向凹槽与竖向凹槽两侧均设有流液槽，相对于现有技术中，抛光垫弹性差、易损坏且不便于清理，本实用新型所达到的有益效果是：通过设置的缓冲层与弹性软垫使得抛光垫的弹性增加，排屑组件的设置便于清理，流液槽使得抛光液可以迅速且均匀的分布，设置的隔水层使得抛光垫不易损坏，具有较高的推广使用价值。

技术领域

本实用新型涉及抛光垫技术领域，具体为一种带沟槽的聚氨酯抛光垫。

背景技术

抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光柱，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫；按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和复合型抛光垫；按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型。而聚氨酯抛光垫，俗称水松皮，以聚氨酯为结合剂，添加填充物制作而成，分为多个系列：氧化铈系列、氧化锆系列、不含磨料的纯聚氨酯系列以及其它研磨料系列。广泛用于平板玻璃、LCD/LED基板玻璃、压电玻璃、滤光片、水晶、精密光学器件、金属及合金、硬盘、陶瓷材料、半导体晶圆等产品的高速平面抛光。

目前，聚氨酯抛光垫大多弹性较差，在其使用过程中，抛光垫容易残留碎屑，不便清理，并且在使用前添加抛光液时，抛光液不能迅速的均匀分布，不便进行后续的操作，并且将整个抛光垫浸泡在抛光液中会对抛光垫产生损坏，造成造成资源浪费。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种带沟槽的聚氨酯抛光垫，以解决现有技术中弹性差、不便于清理、抛光液不能迅速均匀分布和易损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带沟槽的聚氨酯抛光垫，包括基垫，所述基垫顶面设有底胶层，所述底胶层上表面设有弹性软垫，所述弹性软垫顶面设有粘合剂层，所述粘合剂层上表面设有隔水层，所述隔水层顶面设有缓冲层，所述缓冲层顶面设有无纺布层，所述无纺布层顶面设有抛光柱，所述抛光柱上表面设有排屑组件，所述排屑组件包括横向凹槽，所述横向凹槽连接竖向凹槽，并与其将抛光柱垂直平分，所述横向凹槽与竖向凹槽两侧均设有流液槽。

优选的，所述缓冲层设有若干通气孔。

优选的，所述抛光柱为聚氨酯材料。

优选的，所述无纺布层通过若干无纺布叠加制成。

优选的，所述流液槽两侧突起顶面设有耐磨垫片。

优选的，所述横向凹槽、竖向凹槽与流液槽的槽内均铺设一层隔污网。

优选的，所述排屑组件与流液槽相连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型为一种带沟槽的聚氨酯抛光垫，设置的缓冲层与弹性软垫使得抛光垫的弹性增加，方便使用。

(2)本实用新型为一种带沟槽的聚氨酯抛光垫，设置的流液槽使得抛光液可以迅速且均匀的分布，加快了工作流程，减少了工作时间。

(3)本实用新型为一种带沟槽的聚氨酯抛光垫，设置的排屑组件使得抛光垫进行作业时产生的碎屑方便进行清理。

(4)本实用新型为一种带沟槽的聚氨酯抛光垫，设置的隔水层使得抛光垫不易损坏。

附图说明

图1为本实用新型的俯视结构示意图；

图2为本实用新型A-A向剖切结构示意图；

图3为本实用新型B处放大结构示意图。