[实用新型]一种蒸镀装置及蒸镀机

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

蒸镀腔(110)和供料腔(120)；

蒸镀组件(3)，包括用于蒸镀的工作位(31)和用于预蒸的等候位(32)，所述工作位(31)设置于所述蒸镀腔(110)内，所述等候位(32)设置于所述供料腔(120)内，所述工作位(31)和所述等候位(32)上均设置有加热组件(35)，坩埚(13)置于所述加热组件(35)内，位于所述等候位(32)的所述加热组件(35)能对其上的所述坩埚(13)内的材料预蒸至预设蒸镀速率；

驱动组件，用于驱动所述工作位(31)和所述等候位(32)上的所述加热组件(35)调换位置；

预蒸探头(41)，用于检测所述等候位(32)上材料的蒸镀速率；

蒸镀探头(42)，用于检测所述工作位(31)上材料的蒸镀速率；

供料组件(1)，设置于所述供料腔(120)内，能向所述等候位(32)取放所述坩埚(13)。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述驱动组件包括第一驱动(33)和设置于所述第一驱动(33)的驱动端的底座，所述加热组件(35)设置在所述底座上，所述第一驱动(33)能通过转动所述底座，将所述工作位(31)的所述加热组件(35)和所述等候位(32)的所述加热组件(35)调换位置。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括活动挡板(34)，所述活动挡板(34)位于所述工作位(31)和所述等候位(32)之间，且并被配置为能被所述第一驱动(33)驱动，以将达到预设蒸镀速率的所述坩埚(13)从所述供料腔(120)转动到所述蒸镀腔(110)，同时将蒸镀完成的所述坩埚(13)转动到所述供料腔(120)。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀腔(110)和所述供料腔(120)之间设置有固定挡板(130)，所述固定挡板(130)上设置有容置所述活动挡板(34)的开口。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括取放组件(2)，所述供料组件(1)包括存储架(11)，所述存储架(11)上设置多个放置位(12)，用于放置盛放材料或蒸镀完成的所述坩埚(13)，所述取放组件(2)能在所述放置位(12)和所述等候位(32)之间取放所述坩埚(13)。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述供料组件(1)还包括第二驱动(14)和设置于所述第二驱动(14)的驱动端的盖板(15)，所述第二驱动(14)能驱动所述盖板(15)选择性盖设于所述坩埚(13)上。

7.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述供料组件(1)还包括第三驱动(16)，所述存储架(11)设置于所述第三驱动(16)的驱动端，所述第三驱动(16)能驱动所述存储架(11)移动，以使其中一个所述放置位(12)正对所述取放组件(2)。

8.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述取放组件(2)包括第四驱动、第五驱动和夹具(21)，所述第四驱动能驱动所述夹具(21)上下移动以取放所述坩埚(13)，所述第五驱动能驱动所述夹具(21)转动以在所述放置位(12)和所述等候位(32)之间移动。

9.一种蒸镀机，其特征在于，包括两个以上如权利要求1-8任一项所述的蒸镀装置，还包括移动装置(100)，所述移动装置(100)设置于所述蒸镀腔(110)内，能将待蒸镀零件依次经过所述蒸镀装置的所述工作位(31)。

10.根据权利要求9所述的蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀机包括四个所述蒸镀装置，所述移动装置(100)距离每个所述蒸镀装置的距离相同。