[实用新型]一种石英舟有效
申请号: | 202022986743.4 | 申请日: | 2020-12-11 |
公开(公告)号: | CN213816097U | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 金宁城;陈雅君 | 申请(专利权)人: | 福建兆元光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 董晗 |
地址: | 350109 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 | ||
1.一种石英舟,其特征在于,包括固定杆和支撑杆;
所述固定杆有两个,所述固定杆上开设有多个上固定槽,两个所述固定杆上相互远离的一侧均设有凸沿,其中一个所述固定杆的凸沿上开设有定位孔,另一个所述固定杆的凸沿上设有定位柱;
所述支撑杆有两个,所述支撑杆位于固定杆下方并与支撑杆相互平行,相邻的所述支撑杆之间的间距小于相邻的固定杆之间的间距,所述支撑杆上开设有多个与上固定槽一一对应的下固定槽。
2.根据权利要求1所述石英舟,其特征在于,还包括连接杆和支脚;
所述连接杆垂直于支撑杆和固定杆并位于支撑杆和固定杆之间,所述支撑杆的端部通过连接杆与固定杆的端部固定连接;
两个所述支撑杆的底部分别固定连接有支脚,位于两个所述支撑杆底部的支脚呈八字形。
3.根据权利要求2所述石英舟,其特征在于,位于两个所述支撑杆底部的支脚之间的夹角为40°。
4.根据权利要求1所述石英舟,其特征在于,相邻的所述固定杆的间距为104.2±0.5mm,相邻的所述支撑杆的间距为55±0.5mm,所述固定杆和支撑杆之间的纵向间距为24.5±0.5mm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造