[实用新型]一种石英舟有效

专利信息
申请号: 202022986743.4 申请日: 2020-12-11
公开(公告)号: CN213816097U 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 金宁城;陈雅君 申请(专利权)人: 福建兆元光电有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 代理人: 董晗
地址: 350109 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英
【权利要求书】:

1.一种石英舟,其特征在于,包括固定杆和支撑杆;

所述固定杆有两个,所述固定杆上开设有多个上固定槽,两个所述固定杆上相互远离的一侧均设有凸沿,其中一个所述固定杆的凸沿上开设有定位孔,另一个所述固定杆的凸沿上设有定位柱;

所述支撑杆有两个,所述支撑杆位于固定杆下方并与支撑杆相互平行,相邻的所述支撑杆之间的间距小于相邻的固定杆之间的间距,所述支撑杆上开设有多个与上固定槽一一对应的下固定槽。

2.根据权利要求1所述石英舟,其特征在于,还包括连接杆和支脚;

所述连接杆垂直于支撑杆和固定杆并位于支撑杆和固定杆之间,所述支撑杆的端部通过连接杆与固定杆的端部固定连接;

两个所述支撑杆的底部分别固定连接有支脚,位于两个所述支撑杆底部的支脚呈八字形。

3.根据权利要求2所述石英舟,其特征在于,位于两个所述支撑杆底部的支脚之间的夹角为40°。

4.根据权利要求1所述石英舟,其特征在于,相邻的所述固定杆的间距为104.2±0.5mm,相邻的所述支撑杆的间距为55±0.5mm,所述固定杆和支撑杆之间的纵向间距为24.5±0.5mm。

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