[实用新型]一种双层供液管及恒温供液系统有效
申请号: | 202022986793.2 | 申请日: | 2020-12-08 |
公开(公告)号: | CN214226930U | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙) |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0236;C30B33/10 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 王艺涵 |
地址: | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双层 供液管 恒温 系统 | ||
本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域,提供了一种双层供液管及恒温供液系统,该双层供液管,包括内管和套接在所述内管外的外管,所述内管的内部具有供化学品经过的第一通道,所述外管和所述内管之间具有供冷却液经过的第二通道;所述第一通道的两端分别用于和化学品供液机构和制绒清洗机构相通,所述第二通道至少有一端用于和冷却液供液机构相通。本实用新型提供的双层供液管,内管与外管之间具有供冷却液经过的第二通道,可以在第二通道内通入预设温度的冷却液,使化学品供液机构内的化学品经第一通道到达制绒清洗机构之前被冷却降温,从而实现对第一通道内的化学品的精准控温,避免化学品失效以及温度波动对工艺的影响。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域,具体涉及一种双层供液管及恒温供液系统。
背景技术
太阳能电池生产工艺中,例如异质结太阳能电池(HeteroJunction withIntrinsic Thin-layer,简称HJT)包括制绒清洗、非晶硅沉积、导电膜沉积、丝网印刷等工艺步骤。其中,制绒清洗主要用于在硅片表面形成预制绒面结构,并对硅片进行彻底的化学清洗。现有的制绒清洗化学品供液系统,化学品在管内输送时,容易受到外部环境的影响,化学品的温度容易不受控,容易导致化学品中有效成分的失效,进而影响工艺稳定。
实用新型内容
因此,本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的化学品在双层套管内输送时,容易受到外部环境的影响,化学品的温度容易不受控的缺陷,从而提供一种双层供液管及恒温供液系统。
为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案如下:
本实用新型提供一种双层供液管,包括内管和套接在所述内管外的外管,所述内管的内部具有供化学品经过的第一通道,所述外管和所述内管之间具有供冷却液经过的第二通道;所述第一通道的两端分别用于与化学品供液机构和制绒清洗机构相通,所述第二通道至少有一端用于和冷却液供液机构相通。
进一步地,所述外管的内壁具有向所述内管的外壁方向延伸的限位机构,所述限位机构用于限制所述内管与所述外管的内壁的接触。
进一步地,所述限位机构为成型于所述外管的内壁的多个齿牙,所述齿牙靠近所述内管的末梢呈尖形。
进一步地,多个所述齿牙沿所述外管的内壁的周向方向间隔布置。
进一步地,多个所述齿牙沿所述外管的内壁的长度方向间隔布置。
本实用新型还提供一种恒温供液系统,包括化学品供液机构、制绒清洗机构和冷却液供液机构,还包括上述所述的双层供液管。
进一步地,所述冷却液供液机构包括与所述双层供液管的外管构成冷却液循环通道的循环管,设置在所述循环管上用于为所述冷却液循环通道内的冷却液提供循环动力的循环泵,以及设置在所述循环管上的用于对冷却液循环通道内的冷却液进行制冷的冷水机。
进一步地,所述冷却液循环通道内设有用于检测冷却水PH值的PH检测计。
进一步地,所述冷却液循环通道内设有用于检测冷却水电导率的电导率检测计。
进一步地,所述冷却液循环通道内还设有用于检测冷却液流量的流量计、用于检测冷却液温度的温度计、用于检测所述外管的出水端的压力的压力计。
本实用新型技术方案,具有如下优点:
1.本实用新型提供的双层供液管,内管与外管之间具有供冷却液经过的第二通道,可以在第二通道内通入预设温度的冷却液,使化学品供液机构内的化学品经内管内的第一通道到达制绒清洗机构之前可以保持恒定温度,从而实现对第一通道内的化学品的精准控温,避免化学品失效以及温度波动对后续工艺的影响。
2.本实用新型提供的双层供液管,在外管的内壁具有向内管外壁方向延伸的限位机构,有效减少内管与外管接触,避免管外环境温度影响化学品的稳定性。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的