[实用新型]监测热偶固定装置

说明书

本实用新型涉及半导体器件加工制造领域，具体涉及一种监测热偶固定装置，包括：套管，具有用于容纳所述监测热偶的管腔,所述套管的外壁面上标有刻度；工装卡具，包括本体，所述本体具有套管孔以及安装孔，所述套管孔用于容纳所述套管；支撑杆，所述工装卡具通过所述安装孔安装在所述支撑杆上，以将所述工装卡具吊装在待测温石英管的上方。通过使用带刻度的套管固定监测热偶，并通过工装卡具固定在靠近石英管外表面的位置，解决了监测热偶位置不准确，重复性较差的问题，使得监测热偶得以精确固定，提高了监测热偶的测温的准确性。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件加工制造领域，具体涉及一种监测热偶固定装置。

背景技术

垂直梯度凝固(VGF)法以其工艺简单、重复性好，整个生长过程可以完全实现程序自动化控制，生长过程中具备较小的温度梯度，生长出的晶体热应力小、缺陷少等优点而被广泛应用于砷化镓单晶生长中。但是，由于界面不可观察性，对于监控热偶的精确性也提出了高要求，对此精确固定监测热偶就十分重要了。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的上述技术问题。为此，本实用新型提出一种监测热偶固定装置，解决上述至少一个技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型第一方面提供了一种监测热偶固定装置，包括：

套管，具有用于容纳所述监测热偶的管腔,所述套管的外壁面上标有刻度；

工装卡具，包括本体，所述本体具有套管孔以及安装孔，所述套管孔用于容纳所述套管；

支撑杆，所述工装卡具通过所述安装孔安装在所述支撑杆上。

另外，根据本实用新型上述监测热偶固定装置还可以具有如下附加的技术特征：

根据本实用新型的一个实施例，所述本体呈方块状，且所述本体的侧面纵向贯穿设置有半圆形或圆形缺口，所述半圆形或圆形缺口与所述石英管外轮廓的位置对应，所述套管孔环绕所述半圆形或圆形缺口而设。

根据本实用新型的一个实施例，所述套管与所述本体通过螺丝锁紧。

根据本实用新型的一个实施例，所述监测热偶与所述套管通过螺丝锁紧。

根据本实用新型的一个实施例，所述工装卡具与所述支撑杆通过螺丝锁紧。

根据本实用新型的一个实施例，所述本体的长度为40-45cm，厚度为15-20cm，所述半圆形或圆形缺口的半径为10-12cm。

根据本实用新型的一个实施例，所述套管的内径为1.6-1.8cm，所述套管的外径为2-2.4cm。

根据本实用新型的一个实施例，所述套管孔的直径为2-2.4cm，所述安装孔的直径为2-2.4cm。

根据本实用新型的一个实施例，所述套管孔纵向贯穿所述本体，所述安装孔横向贯穿所述本体。

根据本实用新型的一个实施例，所述支撑杆为可伸缩支撑杆。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

通过使用带刻度的套管固定监测热偶，并通过工装卡具固定在靠近石英管外表面的位置，解决了监测热偶位置不准确，重复性较差的问题，使得监测热偶得以精确固定，提高了监测热偶的测温的准确性。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本实用新型的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

图1为本实用新型一个实施例中监测热偶固定装置的主视图；

图2为图1套管的主视图；