[实用新型]大宗化学品供应系统有效
申请号: | 202022997389.5 | 申请日: | 2020-12-14 |
公开(公告)号: | CN214037874U | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 隋英羿 | 申请(专利权)人: | 浙江东开半导体科技有限公司 |
主分类号: | F17D1/14 | 分类号: | F17D1/14;F17D3/01;F16L9/02;F16L9/12 |
代理公司: | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人: | 司晓蕾 |
地址: | 310000 浙江省杭州市经济技术开*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 大宗 化学品 供应 系统 | ||
1.一种大宗化学品供应系统,其特征在于,包括依次通过管道连接的灌充单元、储存单元、中继站以及分配单元,所述储存单元与灌充单元连接,所述灌充单元内部设有第一气动供应泵,以使灌充单元将储存单元中储存的化学品输送给中继站;所述中继站内设有第二气动供应泵,以使化学品通过中继站输送给分配单元,所述灌充单元与槽车连接,所述分配单元与机台相连。
2.根据权利要求1所述的大宗化学品供应系统,其特征在于,所述中继站包括储存罐和与储存罐连接的输送柜,所述储存罐与灌充单元连接,所述输送柜与分配单元连接,所述第二气动供应泵设置在输送柜内部。
3.根据权利要求2所述的大宗化学品供应系统,其特征在于,还包括PLC控制器,所述灌充单元、分配单元、中继站以及分配单元均受PLC控制器的控制。
4.根据权利要求3所述的大宗化学品供应系统,其特征在于,所述储存罐内设有液位计。
5.根据权利要求2所述的大宗化学品供应系统,其特征在于,所述输送柜安装有过滤器。
6.根据权利要求1所述的大宗化学品供应系统,其特征在于,所述分配单元包括一个或多个并联的阀门分支箱,所述阀门分支箱与机台一一对应。
7.根据权利要求1~6任一项所述的大宗化学品供应系统,其特征在于,所述管道的材质为不锈钢或者PFA。
8.根据权利要求7所述的大宗化学品供应系统,其特征在于,所述不锈钢为316L不锈钢。
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