[实用新型]一种用于激光器芯片挑晶的治具有效

专利信息
申请号: 202023004303.0 申请日: 2020-12-14
公开(公告)号: CN213635944U 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 丁小军;李春勇;舒凯;仇伯仓;柯毛龙;徐化勇;冯鸥;高阳;蒋锴 申请(专利权)人: 江西铭德半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 何世磊
地址: 330000 江西省南昌市南*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 激光器 芯片
【权利要求书】:

1.一种用于激光器芯片挑晶的治具,其特征在于:包括依次连接的真空发生器、第一输送管、收晶桶、第二输送管以及挑片针,所述真空发生器内部通过所述第一输送管与所述收晶桶内部连通,所述收晶桶内部通过所述第二输送管与所述挑片针连通,当所述真空发生器开启时,所述收晶桶内部处于负压状态,激光器芯片从所述挑片针末端被吸入所述收晶桶内,所述收晶桶上设有固定所述第一输送管的第一固定部、固定所述第二输送管的第二固定部,所述第二固定部的高度低于所述第一固定部的高度,所述收晶桶包括收晶上桶以及位于所述收晶上桶下方的收晶下桶,所述收晶上桶与所述收晶下桶之间可拆卸连接,所述第一固定部、所述第二固定部皆设于所述收晶上桶上,所述挑片针包括针头以及针管,所述针头由所述针管切割而成,所述针头的切割面为曲面,所述针管为硬质管。

2.根据权利要求1所述的用于激光器芯片挑晶的治具,其特征在于:所述第一输送管包括固定于所述真空发生器上的第一固定管、固定于所述收晶桶上的第二固定管,以及连通所述第一固定管与所述第二固定管的第一软管。

3.根据权利要求2所述的用于激光器芯片挑晶的治具,其特征在于:所述第一固定管、所述第二固定管为硬质管,所述第二固定管从所述收晶桶外斜向下插入所述收晶桶内。

4.根据权利要求1所述的用于激光器芯片挑晶的治具,其特征在于:所述第二输送管包括固定于所述收晶桶上的第三固定管,以及连通所述第三固定管与所述挑片针的第二软管。

5.根据权利要求4所述的用于激光器芯片挑晶的治具,其特征在于:所述第二软管的管径大于所述激光器芯片的尺寸。

6.根据权利要求4所述的用于激光器芯片挑晶的治具,其特征在于:所述第三固定管为硬质管,所述第三固定管从所述收晶桶的外斜向下插入所述收晶桶内。

7.根据权利要求2所述的用于激光器芯片挑晶的治具,其特征在于:所述第二固定管内设有阻隔层,所述阻隔层为透气层。

8.根据权利要求1所述的用于激光器芯片挑晶的治具,其特征在于:所述收晶桶桶内底部设有缓冲层。

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