[实用新型]一种VCSEL测试系统有效
| 申请号： | 202023005973.4 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN214066470U | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王胜利;刘振辉 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;B65G47/04;B65G47/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 vcsel 测试 系统 | ||
1.一种VCSEL测试系统，其特征在于：所述VCSEL测试系统包括，依次设置的，
上料机，用于放置待测试的VCSEL元器件；
远场测试机，用于对VCSEL元器件进行远场测试；
发光角度测试机，用于对VCSEL元器件进行发光角度测试；
下料机，用于放置测试后的VCSEL元器件。
2.根据权利要求1所述的VCSEL测试系统，其特征在于：
设置于上料机/远场测试机的第一搬运部能够将上料机上的待测试VCSEL元器件搬运至远场测试机第一预设位置，所述第一预设位置为远场测试机的测试位置/远场测试机的上料位置。
3.根据权利要求1所述的VCSEL测试系统，其特征在于：
设置于远场测试机/发光角度测试机的第二搬运部能够将远场测试机测试后的VCSEL元器件(101)搬运至发光角度测试机的第二预设位置，所述第二预设位置为发光角度测试机的测试位置/发光角度测试机的上料位置。
4.根据权利要求1所述的VCSEL测试系统，其特征在于：
设置于发光角度测试机/下料机的第三搬运部能够将发光角度测试机测试后的VCSEL元器件(101)搬运至下料机的放置位置。
5.根据权利要求1所述的VCSEL测试系统，其特征在于：所述远场测试机包括，
置放部，安装于机架，用于放置待测试的VCSEL元器件；
投射部，安装于机架并正对应置放部上VCSEL元器件的发光方向，用于显示VCSEL元器件发光区域；
感应相机，安装于机架用于识别投射部上的发光区域。
6.根据权利要求5所述的VCSEL测试系统，其特征在于：
所述感应相机和置放部位于投射部的两侧。
7.根据权利要求5所述的VCSEL测试系统，其特征在于：
所述投射部包括投射膜和安装架，所述安装架连接于机架，所述投射膜安装于所述安装架。
8.根据权利要求7所述的VCSEL测试系统，其特征在于：
所述安装架包括连接架和更换架，所述投射膜固定于所述更换架，所述更换架可拆卸连接于连接架。
9.根据权利要求7所述的VCSEL测试系统，其特征在于：
所述安装架直线运动连接于所述机架。
10.根据权利要求5所述的VCSEL测试系统，其特征在于：
所述远场测试机还包括第一搬运部，所述第一搬运部包括立柱及旋转连接于所述立柱的摆臂。
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