[实用新型]一种高温型薄膜绝压传感器

说明书

本实用新型公开了一种高温型薄膜绝压传感器，该高温型薄膜绝压传感器包括高温线缆、压力传感头组件以及变换器；压力传感头组件包括第一线缆紧固座、外壳、L型端子、密封壳体、溅射薄膜式敏感芯体、压力接口座以及堵盖；在外壳与压力接口座之间的空腔内安装有密封壳体、L型端子、溅射薄膜式敏感芯体以及堵盖；第一线缆紧固座用于固定连接高温线缆的一端；压力接口座设置有引压孔；变换器包括第二线缆紧固座、电路板、下盖、电连接器以及上盖；第二线缆紧固座用于固定安装高温线缆。上述高温型薄膜绝压传感器具有工作温度范围大、精度高、抗振动冲击、可在550℃的高温环境下正常工作、可以测量绝对压力的特点。

技术领域

本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种高温型薄膜绝压传感器。

背景技术

高温压力传感器作为微机电系统在国防军工领域有着广阔的应用前景，例如喷气发动机、火箭、卫星等耐热腔体和表面各部分的压力测试，还可以参与航空航天各种飞行器的姿态控制以及超高速导弹的飞行控制；然而，传统压力传感器在120℃以上环境进行测量时，传感器的性能会严重恶化以至于完全失效。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种高温型薄膜绝压传感器，具有工作温度范围大、精度高、抗振动冲击、可在550℃的高温环境下正常工作、可以测量绝对压力的特点。

本实用新型采用以下具体技术方案：

一种高温型薄膜绝压传感器，包括高温线缆、压力传感头组件以及变换器；

所述压力传感头组件包括第一线缆紧固座、外壳、L型端子、密封壳体、溅射薄膜式敏感芯体、压力接口座以及堵盖；所述外壳与所述压力接口座相对设置且固定连接，在所述外壳与所述压力接口座之间的空腔内安装有所述密封壳体、所述L型端子、所述溅射薄膜式敏感芯体以及所述堵盖；所述第一线缆紧固座安装于所述外壳，用于固定连接所述高温线缆的一端；所述压力接口座设置有用于引入被测介质的引压孔；在所述引压孔的出口安装有用于缓冲压力的所述堵盖；所述溅射薄膜式敏感芯体采用耐高温材料制成，并固定连接于所述堵盖外周侧的所述压力接口座上；所述密封壳体罩设于所述压力接口座，并将所述溅射薄膜式敏感芯体密封在所述密封壳体与所述压力接口座之间，用于为所述溅射薄膜式敏感芯体提供真空环境；用于信号转接的所述L型端子固定安装于所述密封壳体，一端与所述高温线缆连接，另一端与所述溅射薄膜式敏感芯体连接；

所述变换器包括第二线缆紧固座、电路板、下盖、电连接器以及上盖；所述上盖和所述下盖相对设置且固定连接，在所述上盖和所述下盖之间形成密封空间；所述电路板固定安装于所述密封空间内，输入端连接所述高温线缆，输出端连接所述电连接器；所述第二线缆紧固座和所述电连接器相对安装于所述下盖；所述第二线缆紧固座用于固定安装所述高温线缆的另一端；所述电路板用于对输入的电压信号进行补偿、放大、A/D转换、运算处理和发送。

更进一步地，所述密封壳体还包括设置有凹槽的密封盖；

所述密封壳体设置有与所述溅射薄膜式敏感芯体相对的阶梯孔；

所述密封盖密封安装于所述阶梯孔。

更进一步地，所述密封壳体、所述密封盖以及所述L型端子采用4J29可伐(Kovar)合金制成。

更进一步地，所述L型端子烧结于所述密封壳体，并采用高温玻璃作为烧结密封材料。

更进一步地，所述L型端子的外侧面设置有镀金涂层；

所述L型端子与所述高温线缆之间通过导线连接；

所述导线通过螺钉和铆钉固定连接于所述L型端子的顶部，并通过螺钉与所述高温线缆连接；

所述L型端子通过金丝焊接工艺与所述溅射薄膜式敏感芯体相连接。

更进一步地，所述外壳焊接连接于所述压力接口座；