[实用新型]高精密划片机吸盘

权利要求书

1.高精密划片机吸盘，其特征在于：包括高强度铝合金底座（1）和微孔陶瓷片（2），所述高强度铝合金底座（1）设有用于安装微孔陶瓷片（2）的安装台阶（11），所述高强度铝合金底座（1）的中心位置设有气孔（12），所述高强度铝合金底座（1）的上表面设置有气体回路槽（13），所述高强度铝合金底座（1）的下表面设有气管安装槽（14）。

2.根据权利要求1所述的高精密划片机吸盘，其特征在于：所述高强度铝合金底座（1）设有底座安装口（15），所述底座安装口（15）设有两个安装孔（16）。

3.根据权利要求1所述的高精密划片机吸盘，其特征在于：所述气体回路槽（13）包括一个圆形槽（131）、一个十字槽（132）和若干方形槽（133），所述圆形槽（131）的中心、十字槽（132）的中心和方形槽（133）的中心与气孔（12）的中心相重合。

4.根据权利要求3所述的高精密划片机吸盘，其特征在于：所述方形槽（133）为正方形槽。

5.根据权利要求4所述的高精密划片机吸盘，其特征在于：外侧的所述方形槽（133）的内边与内侧的方形槽（133）的外边之间的距离尺寸为定值a。