[实用新型]一种用于多极式等离子发生器的壳体结构

权利要求书

1.一种用于多极式等离子发生器的壳体结构，包括外壳，其特征在于，所述外壳呈直筒型，所述外壳顶端设置有安装法兰，所述安装法兰上设置有与进气系统连通的主气进口、保护气进口和与水冷系统连通的进水口、出水口以及与小阳极连通的小阳极电极、与大阳极连通的大阳极电极以及与阴极连通的阴极电极。

2.根据权利要求1所述的用于多极式等离子发生器的壳体结构，其特征在于，所述外壳侧壁内开设有进水管道，所述进水管道一端与进水口导通，所述进水管道另一端延伸至大阳极端。

3.根据权利要求1所述的用于多极式等离子发生器的壳体结构，其特征在于，所述外壳内侧壁与阴极外侧壁之间设置有阴极绝缘层，所述外壳内侧壁与阳极外侧壁之间设置有阳极绝缘层。

4.根据权利要求3所述的用于多极式等离子发生器的壳体结构，其特征在于，所述阴极绝缘层内设置有小阳极导电环，所述小阳极导电环一端与小阳极电极连接，所述小阳极导电环另一端延伸至小阳极。

5.根据权利要求3所述的用于多极式等离子发生器的壳体结构，其特征在于，所述阴极绝缘层与外壳内侧壁之间设置有主气进气管，所述主气进气管一端与主气进口连通，另一端向发生器内部延伸并与进气系统连通。

6.根据权利要求3所述的用于多极式等离子发生器的壳体结构，其特征在于，所述阴极绝缘层内还设置有保护气进气管，所述保护气进气管一端与保护气进口连通，所述保护气进气管另一端向发生器内部延伸并与进气系统连通。

7.根据权利要求1所述的用于多极式等离子发生器的壳体结构，其特征在于，所述安装法兰顶端还设置有圆管状的外套管，所述外套管上设置有用于安装时调节固定的调节螺母和固定螺母。

8.根据权利要求1所述的用于多极式等离子发生器的壳体结构，其特征在于，所述外壳材料为不锈钢。