[实用新型]一种用于多极式等离子发生器的小阳极

权利要求书

1.一种用于多极式等离子发生器的小阳极，其特征在于，所述小阳极设置于阴极与阳极之间，所述小阳极侧壁沿轴向设置有多个过水孔，所述过水孔由小阳极的一端面导通至另一端面；所述小阳极内壁面与阴极端之间而形成的供气体通过的侧壁气道。

2.根据权利要求1所述的用于多极式等离子发生器的小阳极，其特征在于，所述小阳极靠近阴极的一端开设有供阴极端插入的阴极槽，所述小阳极靠近大阳极的一侧开设有供大阳极端插入的大阳极槽，所述阴极槽与大阳极槽之间通过一等离子过孔连接。

3.根据权利要求2所述的用于多极式等离子发生器的小阳极，其特征在于，所述侧壁气道是在阴极插入所述阴极槽后，所述阴极槽的内壁面与阴极端之间而形成的供气体通过的气道。

4.根据权利要求2所述的用于多极式等离子发生器的小阳极，其特征在于，所述小阳极的外壁环向设置有导水槽，所述导水槽由小阳极的外壁面向内壁面方向开设，且所述导水槽的一侧与所述过水孔导通，所述导水槽的另一侧与阳极上的通水孔连通。

5.根据权利要求4所述的用于多极式等离子发生器的小阳极，其特征在于，所述导水槽底壁靠近所述等离子过孔。

6.根据权利要求4所述的用于多极式等离子发生器的小阳极，其特征在于，所述导水槽内部设置有隔水板，所述隔水板沿导水槽轴向设置，且所述隔水板的底部与导水槽底部之间留有供水流流通的间隙，所述隔水板顶部延伸出所述导水槽并与外壳或阴极侧壁密封连接，所述隔水板将所述导水槽分隔成独立的两部分，所述隔水板一侧的导水槽和过水孔导通，所述隔水板另一侧和阳极上的通水孔导通。

7.根据权利要求6所述的用于多极式等离子发生器的小阳极，其特征在于，所述隔水板底部与所述导水槽底壁的距离占所述导水槽高度的1/15-1/10。

8.根据权利要求1所述的用于多极式等离子发生器的小阳极，其特征在于，所述过水孔沿所述小阳极的侧面圆周方向均匀设置有多个。

9.根据权利要求1所述的用于多极式等离子发生器的小阳极，其特征在于，所述小阳极包括阳极连接段和阴极连接段，所述阳极连接段和阴极连接段外壁面均设置有外螺纹；且所述阳极连接段和阴极连接段上均套设有密封圈。

10.根据权利要求1所述的用于多极式等离子发生器的小阳极，其特征在于，所述小阳极的材质采用紫铜。