[实用新型]一种一体化多极式等离子发生器

权利要求书

1.一种一体化多极式等离子发生器，其特征在于，包括阴极、阳极、水冷系统和进气系统；所述阳极包括依次连通的大阳极和若干小阳极，所述小阳极设置于阴极与大阳极之间；所述大阳极与小阳极之间和/或小阳极与小阳极之间均设置有绝缘气环；

所述水冷系统包括位于发生器同一端的进水口和出水口，以及由所述进水口一端延伸至发生器另一端并返回至所述出水口一端的冷却液道；所述进气系统包括主气路和保护气路；

所述小阳极设置有互不连通的第一水路和第一气路，所述绝缘气环设置有互不连通的第二水路和第二气路；以使所述主气路、所述保护气路和所述水冷系统各自独立工作，互不干扰。

2.根据权利要求1所述的一体化多极式等离子发生器，其特征在于，所述阳极的轴向中心开设有供电弧移动的阳极空心管道，所述阴极的轴向中心开设有供电弧移动的阴极空心管道；

所述进水口和所述出水口均设于所述阴极远离阳极的一端，所述冷却液道包括依次连通的进水管道、外螺旋导水槽、第二水路、第一水路及出水管道；所述进水管道设于所述阴极外壁，所述外螺旋导水槽开设于所述大阳极外壁面；所述出水管道设于所述阴极空心管道内且与所述阴极空心管道同轴。

3.根据权利要求2所述的一体化多极式等离子发生器，其特征在于，所述进水管道包括进水水管和冷却水槽，所述进水水管一端与进水口连通，另一端与冷却水槽连通；所述冷却水槽与所述外螺旋导水槽连通。

4.根据权利要求1所述的一体化多极式等离子发生器，其特征在于，所述主气路包括：依次连接的主气进气口、主气进气管、第二气路及阳极空心管道；所述主气进气口设于所述阴极远离所述阳极的一端；所述主气进气管设于所述阴极外壁，所述第二气路用以连通所述主气进气管和所述阳极空心管。

5.根据权利要求1所述的一体化多极式等离子发生器，其特征在于，所述保护气路包括：依次连接的保护气进气口、保护气进气管、第一气路及阳极空心管道；所述保护气进气管设于阴极外壁；所述第一气路用以连通所述保护气进气管与所述阳极空心管道。

6.根据权利要求2所述的一体化多极式等离子发生器，其特征在于，所述绝缘气环横截面为一环状面，所述第二水路包括通水孔，所述第二气路包括导气通孔和喷气环槽；

所述通水孔由所述绝缘气环的一端面导通至另一端面；

所述喷气环槽开设于所述绝缘气环的外圆周面，所述导气通孔由所述喷气环槽导通至所述绝缘气环的内壁面；所述喷气环槽与所述主气路气管导通，所述导气通孔远离所述喷气环槽一端与所述阳极空心管道导通；

所述通水孔与所述导气通孔不连通。

7.根据权利要求6所述的一体化多极式等离子发生器，其特征在于，所述小阳极靠近阴极的一端开设有供阴极端插入的阴极槽，所述小阳极靠近大阳极的一侧开设有供大阳极端插入的大阳极槽，所述阴极槽与大阳极槽之间通过一等离子过孔连接。

8.根据权利要求7所述的一体化多极式等离子发生器，其特征在于，所述第一水路包括过水孔，所述第一气路包括侧壁气道；

所述过水孔由所述小阳极的一端面导通至另一端面，且所述过水孔和所述通水孔连通；所述侧壁气道是在所述阴极插入所述阴极槽后，所述阴极槽的内侧壁与阴极端之间而形成的供气体通过的气道。

9.根据权利要求8所述的一体化多极式等离子发生器，其特征在于，所述小阳极的外壁环向设置有导水槽，所述导水槽由小阳极的外壁面向内壁面方向开设，且所述导水槽的一侧与所述过水孔导通，所述导水槽的另一侧与通水孔连通。

10.根据权利要求2所述的一体化多极式等离子发生器，其特征在于，所述出水管道沿所述阴极轴向中心开设，所述出水管道侧壁通过连接管与过水孔连通，所述出水管延伸出阴极的一端形成出水口。