[实用新型]一种制绒硅片干燥辅助装置

说明书

本实用新型公开了一种制绒硅片干燥辅助装置，安装在洁净房顶上，所述干燥辅助装置包括风机、F4‑F7中效过滤、过滤器支撑、化学过滤、过滤器外壳、高效过滤、风罩组成，新风从风机进入，依次通过F4‑F7中效过滤、过滤器支撑、化学过滤、过滤器外壳、高效过滤、风罩，所述F4‑F7中效过滤安装在过滤器支撑上，所述化学过滤安装过滤器外壳内，过滤器外壳安装在洁净房顶外表面，所述高效过滤安装在过滤器外壳与洁净房顶内，所述风罩安装在洁净房顶内表面。本实用将干燥风机与外新风系统相接，通入环境气体，有效降低烘干成本，过滤器中设计空气吸附过滤净化层，吸附有害气体，高效过滤制得洁净的气氛，进一步减少气体对硅片表面的氧化与污染。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，尤其涉及一种制绒硅片干燥辅助装置。

背景技术

太阳能电池片制绒清洗，为湿化学处理工艺，然后经过表面干燥处理来完成，因此需要相应烘干系统来处理，同时需要保证烘干时硅片表面绒面不被二次污染。然而大气中气氛组成复杂，特别是工业区园区，不仅有运输作业带来的交通尾气，更多的时工业生产，产品制造产生的污染废气排放。其包含有:一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、过硫化物、硫化氢、氟化物、氮氧化物、氯化氢、氯气、一氧化碳、酸雾、铍化物、烟尘及生产性粉尘，排入大气，等空气污染物。

制绒清洗工序多道化学处理工艺，所使用的化学品，如HNO3、HCl、 H2O2、NH3.H2O、KOH、HF,O3等等，其反应挥发产生多种副产物如NO、 NO2、O3、HCl、HCIO、NH3、KOH、H2O2等；这些环境废气广泛逸散于工厂周围，很容易被清洗制绒设备烘干风机吸取为烘干气体，从而与制绒清洗后的硅片的洁净表面吸附反应，从而污染硅片；

而制绒清洗时大量使用氮气烘干硅片表面，成本太高不利于降低生产成本，因此需要提供一种稳定的高洁净度的新风系统解决方案，确保制绒清洗后硅片表面更加洁净稳定，有利于提高制程综合良率，稳定光转化效率。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种制绒硅片干燥辅助装置，解决目前制绒清洗后硅片干燥过程中，硅片极易受气氛影响，导致硅片表面氧化及污染，进而影响太阳能电池效率及良率的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种制绒硅片干燥辅助装置，安装在洁净房顶上，所述干燥辅助装置包括风机、F4-F7 中效过滤、过滤器支撑、化学过滤、过滤器外壳、高效过滤、风罩组成，新风从风机进入，依次通过F4-F7中效过滤、过滤器支撑、化学过滤、过滤器外壳、高效过滤、风罩，所述F4-F7中效过滤安装在过滤器支撑上，所述化学过滤安装过滤器外壳内，过滤器外壳安装在洁净房顶外表面，所述高效过滤安装在过滤器外壳与洁净房顶内，所述风罩安装在洁净房顶内表面。

进一步的，所述的风机与外新风系统相接，风机采用FFU风机。

进一步的，所述的F4-F7中效过滤、化学过滤及高效过滤中可过滤固体颗粒、水汽，可吸附臭氧分子、SO₂、有机气体的空气吸附过滤净化层。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

本实用将干燥风机与外新风系统相接，通入环境气体，有效降低烘干成本，过滤器中设计空气吸附过滤净化层，吸附有害气体，高效过滤制得洁净的气氛，进一步减少气体对硅片表面的氧化与污染；主要过滤外界输入的空气里含有的固体颗粒、水汽、部分化学分子，消除硅片制绒清洗后烘干导致的二次污染风险，提高表面洁净度，提高光转换效率。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型一种制绒硅片干燥辅助装置的爆炸结构示意图；

图2为本实用新型一种制绒硅片干燥辅助装置的整体结构示意图。