[实用新型]一种硅芯炉筒清洁装置有效

专利信息
申请号: 202023035848.8 申请日: 2020-12-16
公开(公告)号: CN214095593U 公开(公告)日: 2021-08-31
发明(设计)人: 张孝山;汪成洋;陈斌;甘易武 申请(专利权)人: 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
主分类号: F27D25/00 分类号: F27D25/00;B08B1/00;B08B3/08;G01B11/02;G01B21/02
代理公司: 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 代理人: 张巨箭
地址: 810007 青海*** 国省代码: 青海;63
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅芯炉筒 清洁 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种硅芯炉筒清洁装置,包括:手柄,内部为中空;分配盘,设置于所述手柄顶部,所述分配盘上设有若干斜外向上的喷嘴;擦拭海绵,环设于分配盘外围;酒精储筒;抽吸泵,设置于酒精储筒上;酒精管道,一端与所述抽吸泵连接,另一端与所述手柄连接;位移传感器,设置于所述手柄或分配盘上;控制器,设置于酒精储筒上,位移输入端与所述位移传感器连接,酒精控制输出端与所述抽吸泵连接。本实用新型的擦拭海绵吸入喷嘴喷出的酒精,从而使得擦拭更彻底,杜绝了毛刷引起的细小杂质在炉室内漂浮,造成擦拭的地方二次污染。同时擦拭脏污的擦拭海绵可以方便拆卸清洗;擦拭的酒精随着炉体擦拭逐渐挥发,并且实现自动补充酒精的功能。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产领域,尤其涉及一种硅芯炉筒清洁装置。

背景技术

随着世界能源危机的日益严重,绿色能源、能源多元化、可再生能源的利用成了我国可持续发展的战略选择,其中太阳能光伏发电成了当前电力科技者研发的热门课题之一。多晶硅是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料,多晶硅纯度越高,电子性能越好,相应光电转换率提高。

改良西门子法生长多晶硅生长过程中需要硅芯作为载体,生长的多晶硅纯度越高,光电转换效率越高;但硅芯作为多晶硅棒生长的载体,纯度要求极高。硅芯在硅芯炉内拉制,高温挥发的杂质会富集在炉室内,人工清理炉体时由于炉体较高,出现清理不彻底或挥发的死角清理不到等问题。

在现有技术中,有部分采用毛刷的形式进行硅芯炉清洁,但是毛刷会引起的细小杂质在炉室内漂浮,造成擦拭的地方二次污染。

因此,针对上述问题,提供一种硅芯炉筒清洁装置,是本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种硅芯炉筒清洁装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的:

本实用新型的第一方面,提供一种硅芯炉筒清洁装置,包括:

手柄,内部为中空;

分配盘,设置于所述手柄顶部,所述分配盘上设有若干斜外向上的喷嘴;

擦拭海绵,环设于分配盘外围;

酒精储筒;

抽吸泵,设置于酒精储筒上;

酒精管道,一端与所述抽吸泵连接,另一端与所述手柄连接;

位移传感器,设置于所述手柄或分配盘上;

控制器,设置于酒精储筒上,位移输入端与所述位移传感器连接,酒精控制输出端与所述抽吸泵连接。

进一步地,所述分配盘包括:

弧形盘,内部为中空,所述弧形盘上设有若干斜外向上的喷嘴,弧形盘外围设置有用于夹持擦拭海绵的夹持槽;

若干连接架,内部为中空,一端与手柄顶部连接,另一端与所述弧形盘连接。

进一步地,所述弧形盘为半圆弧,所述连接架有三个。

进一步地,所述位移传感器为加速度传感器,所述加速度传感器设置于手柄底部。

进一步地,所述位移传感器为红外反射传感器,所述红外反射传感器设置于手柄底部或分配盘上。

进一步地,所述酒精储筒位于硅芯炉外部,酒精管道穿过硅芯炉的门体进行设置,位移传感器与控制器的连接线路也穿过硅芯炉的门体进行设置。

进一步地,所述清洁装置还包括:

控制电源,用于向控制器和抽吸泵提供电源,所述控制器向位移传感器提供电源;

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