[实用新型]一种旋转溅射靶材管口保护装置

说明书

本实用新型公开了一种旋转溅射靶材管口保护装置，包括靶材，靶材上端管口处设有保护套，所述保护套的内壁上开有缓冲槽，所述缓冲槽内设有缓冲机构，所述缓冲机构包括第一弹性缓冲圈、第二弹性缓冲圈和若干个缓冲连接块，保护套内部设有圆盘压板，保护套的上端设有调节螺栓，保护套的上部和中部分别设有第一橡胶套圈和第二橡胶套圈，该保护装置通过橡胶套圈来初步缓解外部挤压碰撞，再通过缓冲机构来对靶材管口进一步保护，通过第一弹性缓冲圈、第二弹性缓冲圈和缓冲连接块共同作用来避免靶材管口处螺纹部分产生形变损坏，能有效避免靶材管口处螺纹部分与保护套内壁直接接触并产生损坏，保护效果更好。

技术领域

本实用新型涉及旋转溅射靶材生产管理设备领域，具体是一种旋转溅射靶材管口保护装置。

背景技术

在旋转靶材出货前，需要在管口部位开设螺纹，以用作于溅射设备的工装连接。但是，由于在靶材运输过程中，靶材管口部分容易发生磕碰，导致管口以及安装螺纹的损坏，则无法继续正常使用，需要返厂维修，耗时耗力；另外，溅射设备常常需要在无尘车间内进行运作，在不设保护的情况下，管内容易积聚灰尘，污染车间，影响溅射工作的顺利进行，而且旋转靶材的管内难以清洁，所以在管口位置设置阻挡结构尤为重要。

中国专利(公告号：CN 211443406 U，公告日：2020.09.08)公布了一种旋转溅射靶材管口保护装置，该保护装置通过设置环盖来对靶材管口进行保护，具有结构简单、使用方便等优点，但是，该保护装置的靶材管口螺纹部分仅通过保护层与环盖接触，内部结构过于单一，受压时缓冲效果较差，且环盖没有设置减缓外界压力的结构或部件，当环盖受到挤压碰撞时，靶材管口螺纹部分易与环盖产生挤压碰撞，进而产生损坏，因此，实用性不够高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种旋转溅射靶材管口保护装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种旋转溅射靶材管口保护装置，包括靶材，所述靶材上端管口处设有保护套，所述保护套的内壁上开有缓冲槽，所述缓冲槽内设有缓冲机构，所述缓冲机构包括第一弹性缓冲圈、第二弹性缓冲圈和若干个缓冲连接块，所述第二弹性缓冲圈贴合缓冲槽槽内壁设置，所述第一弹性缓冲圈设置在第二弹性缓冲圈内围，所述缓冲连接块设置在第一弹性缓冲圈与第二弹性缓冲圈之间，所述缓冲连接块靠近靶材的一端与第一弹性缓冲圈的外壁贴合连接，缓冲连接块远离靶材的一端与第二弹性缓冲圈内壁贴合连接，所述保护套内部、靶材上端管口的上方设有圆盘压板，所述缓冲连接块靠近靶材的一端端面上开有方形活动槽，所述圆盘压板通过方形活动槽与缓冲连接块卡和连接，所述保护套的上端设有调节螺栓，所述调节螺栓通过螺纹套与保护套相连，所述调节螺栓的下部延伸到保护套内，所述保护套的上部和中部分别通过卡接突起设置有第一橡胶套圈和第二橡胶套圈。

作为本实用新型进一步的方案：所述第一弹性缓冲圈的直径尺寸与靶材上端管口处螺纹部分的直径尺寸相匹配，且第一弹性缓冲圈的高度与靶材上端管口处螺纹部分的高度一致，所述缓冲连接块的数量设置为八个，所述缓冲连接块沿着靶材中心轴线圆周对称均匀分布设置。

作为本实用新型再进一步的方案：所述方形活动槽的设置高度大于圆盘压板的厚度。

作为本实用新型再进一步的方案：所述圆盘压板下端设置有橡胶垫，所述橡胶垫的下端与靶材上端相贴合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述调节螺栓上部设有防滑纹。

作为本实用新型再进一步的方案：保护套下端开有柱形槽，柱形槽内设有第三弹性缓冲圈。