[实用新型]一种石英吸笔有效
申请号: | 202023041544.2 | 申请日: | 2020-12-17 |
公开(公告)号: | CN213878064U | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 沈丽萍;金芸 | 申请(专利权)人: | 苏州博莱特石英有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 苏州曼博专利代理事务所(普通合伙) 32436 | 代理人: | 孙霞 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 | ||
1.一种石英吸笔,其特征在于,包括括通气管道和吸盘,所述通气管道包括相连通的手持部和连接部;
所述手持部的一端为第一对接端,该第一对接端的内周面上设有第一环形卡槽,且该第一对接端的端面上设有第一环形密封槽;
所述连接部的一端与吸盘相连接,该连接部的另一端为第二对接端,该第二对接端插接于第一对接端内,且该第二对接端的外周面上设有与第一环形卡槽相对应的第二环形卡槽,该第二环形卡槽和第一环形卡槽之间设有弹性挡圈,所述连接部的外周面上设有环形凸起,该环形凸起贴靠于第一对接端,且该环形凸起上设有与第一环形密封槽相对应的第二环形密封槽,该第二环形密封槽和第一环形密封槽之间设有密封圈。
2.根据权利要求1所述的石英吸笔,其特征在于,所述第一环形卡槽的截面形状为圆弧形,所述第二环形卡槽的截面形状为方形。
3.根据权利要求2所述的石英吸笔,其特征在于,所述手持部的外侧套设有橡胶套。
4.根据权利要求3所述的石英吸笔,其特征在于,所述橡胶套的外周面上设有滚花。
5.根据权利要求4所述的石英吸笔,其特征在于,所述手持部远离第一对接端的一端设有抽真空接管。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造