[实用新型]一种用于真空烧结炉的高稳定性非接触红外测温装置有效
申请号: | 202023051608.7 | 申请日: | 2020-12-17 |
公开(公告)号: | CN213714559U | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 金卫卫;孙伟;田林茂;田国才;胡付俭;许松松;杨阳;姜丁允;冯刚;杨俊峰 | 申请(专利权)人: | 江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司 |
主分类号: | G01J5/00 | 分类号: | G01J5/00;G01J5/02;G01J5/04 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 李小叶 |
地址: | 215200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空 烧结炉 稳定性 接触 红外 测温 装置 | ||
1.一种用于真空烧结炉的高稳定性非接触红外测温装置,其特征在于:包括红外测温仪、金属外接管和石墨内接管,所述真空烧结炉包括炉体、设置于炉体内的炉芯管和设置于炉芯管的外围并对炉芯管进行加热的加热件,所述炉体的侧壁上设有侧开窗口,所述金属外接管连接在该侧开窗口上,并向炉体外延伸;所述金属外接管的外端上安装有金属锁紧盖;所述石墨内接管穿设于该金属外接管中,且石墨内接管的内端伸入炉体中,并靠近所述加热件;石墨内接管的外端向炉体外延伸;石墨内接管的外端连接在该金属锁紧盖上;所述金属锁紧盖上设有红外测温窗口;所述红外测温仪设置于所述金属外接管的前方;所述金属外接管的长度L满足计算公式:L=X-D,长度L的单位为mm,其中,D为加热件距离炉体外壁的距离,且D=100~300mm,X由以下公式获得:X=-ln(T/K)/0.01,其中,K为常数,K=14000~26000,T为真空烧结炉中的沉积物最低冷凝温度,单位为℃。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空烧结炉的高稳定性非接触红外测温装置,其特征在于:红外测温仪的探头的中心轴线与石墨内接管的中心轴线位于同一直线上。
3.根据权利要求1所述的一种用于真空烧结炉的高稳定性非接触红外测温装置,其特征在于:金属外接管和石墨内接管同轴线设置。
4.根据权利要求1所述的一种用于真空烧结炉的高稳定性非接触红外测温装置,其特征在于:所述红外测温仪通过一个连接在金属外接管上的固定支架安装于金属外接管的前方。
5.根据权利要求4所述的一种用于真空烧结炉的高稳定性非接触红外测温装置,其特征在于:所述固定支架包括L形支架和设置于该L形支架上的垂直支架组成,所述红外测温仪固定于所述垂直支架上。
6.根据权利要求1所述的一种用于真空烧结炉的高稳定性非接触红外测温装置,其特征在于:所述红外测温窗口正对所述石墨内接管的内腔。
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