[实用新型]狭缝喷嘴以及基板处理装置

权利要求书

1.一种狭缝喷嘴，其特征在于，包括：

喷嘴本体，通过一对唇部隔开间隙相互相向，形成呈狭缝状开口的吐出口；以及

调整机构，使所述一对唇部相对地向接近方向及分离方向位移来调整所述吐出口的开口宽度，且

在所述一对唇部中的至少一个，在与和另一个所述唇部相向的相向面为相反侧的面上，设置有沿着与所述吐出口的长边方向平行的方向上的槽，

所述调整机构通过以增减所述喷嘴本体中的隔着所述槽而相向的部位的间隔的方式使所述喷嘴本体变形来调整所述开口宽度，

所述槽在与所述吐出口在所述长边方向上的端部对应的位置处，比在与所述吐出口在所述长边方向上的中央部对应的位置处深。

2.一种狭缝喷嘴，其特征在于，包括：

喷嘴本体，通过一对唇部隔开间隙相互相向，形成呈狭缝状开口的吐出口；以及

调整机构，使所述一对唇部相对地向接近方向及分离方向位移来调整所述吐出口的开口宽度，且

在所述一对唇部中的至少一个，在与和另一个所述唇部相向的相向面为相反侧的面上，设置有沿着与所述吐出口的长边方向平行的方向上的槽，

所述调整机构通过以增减所述喷嘴本体中的隔着所述槽而相向的部位的间隔的方式使所述喷嘴本体变形来调整所述开口宽度，

所述槽的底部与所述相向面之间的所述唇部的壁厚在与所述吐出口在所述长边方向上的端部对应的位置处，比在与所述吐出口在所述长边方向上的中央部对应的位置处小。

3.根据权利要求1或2所述的狭缝喷嘴，其特征在于，在自与所述吐出口在所述长边方向上的其中一个端部对应的位置到与另一个端部对应的位置之间，所述槽的深度呈多阶段地变化。

4.根据权利要求1或2所述的狭缝喷嘴，其特征在于，在自与所述吐出口在所述长边方向上的其中一个端部对应的位置到与另一个端部对应的位置之间，所述槽的深度连续地变化。

5.根据权利要求1或2所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述调整机构包括调整螺丝，所述调整螺丝跨越所述槽而设置于所述喷嘴本体，通过拧入量的增减来使所述槽的宽度变化，多个所述调整螺丝沿着所述长边方向排列。

6.根据权利要求5所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述多个调整螺丝的排列间距在与所述吐出口在所述长边方向上的端部对应的位置处，比在与所述吐出口在所述长边方向上的中央部对应的位置处小。

7.根据权利要求5所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述槽及所述调整螺丝与所述一对唇部分别对应地设置，在设置于所述一对唇部中的其中一个所述唇部的所述调整螺丝与设置于另一个所述唇部的所述调整螺丝之间，所述长边方向上的配设位置互不相同。

8.根据权利要求6所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述槽及所述调整螺丝与所述一对唇部分别对应地设置，在设置于所述一对唇部中的其中一个所述唇部的所述调整螺丝与设置于另一个所述唇部的所述调整螺丝之间，所述长边方向上的配设位置互不相同。

9.根据权利要求1或2所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述槽及所述调整机构与所述一对唇部分别对应地设置。

10.根据权利要求1或2所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述喷嘴本体是通过将分别具有所述唇部的第一本体部与第二本体部结合而形成。

11.根据权利要求10所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述第一本体部与所述第二本体部隔着规定所述间隙的垫片而结合。