[实用新型]一种用于冷盘的清洁系统

说明书

本实用新型公开一种用于冷盘的清洁系统，包括冷却管路，所述冷却管路上安装有气动阀一、冷盘和气动阀二，所述气动阀一和气动阀二分别安装在冷盘的两端，还包括连接在冷却管路上的进液管路和废液管路；所述进液管路与溶液桶连接，进液管路上安装有气动阀四，所述溶液桶上接有进气管路，进气管路上安装有气动阀三；所述废液管路与废液桶连接，废液管路上安装有气动阀五。本实用新型的清洁系统，可实现对冷盘中冷却管路内部水垢的定期清洁，提高冷盘稳定性的同时，降低人员工作量。

技术领域

本实用新型涉及一种用于冷盘的清洁系统。

背景技术

PSS(Patterned Sapphire Substrate，图形化蓝宝石衬底)工艺包括清洗/刷洗、涂胶、光刻、显影、刻蚀等；来料产品刷洗完成后或显影完成后，将在外观自动检测机台进行外观检测。涂胶/显影工艺中，烘烤后的蓝宝石晶片需要通过冷盘进行降温处理，而冷盘的冷却管路因管路堵塞，经常需要拆掉人工疏通，工作量大。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种用于冷盘的清洁系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用的一种用于冷盘的清洁系统，包括冷却管路，所述冷却管路上安装有气动阀一、冷盘和气动阀二，所述气动阀一和气动阀二分别安装在冷盘的两端，还包括连接在冷却管路上的进液管路和废液管路；

所述进液管路与溶液桶连接，进液管路上安装有气动阀四，所述溶液桶上接有进气管路，进气管路上安装有气动阀三；

所述废液管路与废液桶连接，废液管路上安装有气动阀五。

进一步的，所述进液管路的端部伸至溶液桶的底部。

进一步的，所述进气管路连接在溶液桶的上端。

进一步的，所述进气管路与N₂连接。

与现有技术相比，本实用新型的清洁系统，可实现对冷盘中冷却管路内部水垢的定期清洁，提高冷盘稳定性的同时，降低人员工作量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中：1、冷却管路，2、气动阀一，3、冷盘，4、气动阀二，5、进气管路，6、气动阀三，7、溶液桶，8、进液管路，9、气动阀四，10、气动阀五，11、废液管路，12、废液桶。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面对本实用新型进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限制本实用新型的范围。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术术语和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同，本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

如图1所示，一种用于冷盘的清洁系统，包括冷却管路1，所述冷却管路1上安装有气动阀一2、冷盘3和气动阀二4，所述气动阀一2和气动阀二4分别安装在冷盘3的两端，还包括连接在冷却管路1上的进液管路8和废液管路11；

所述进液管路8与溶液桶7连接，进液管路8上安装有气动阀四9，所述溶液桶7上接有进气管路5，进气管路5上安装有气动阀三6；

所述废液管路11与废液桶12连接，废液管路11上安装有气动阀五10。

作为实施例的改进，所述进液管路8的端部伸至溶液桶7的底部，所述进气管路5连接在溶液桶7的上端，所述进气管路5与N₂连接，确保当进气管路5内通入N₂时，在N₂的压力作用下，能使溶液桶7内的清洁液经进液管路8流入冷却管路1。