[实用新型]一种气浮式调节探针台

说明书

本实用新型公开了一种气浮式调节探针台，包括机台及设置于机台上的显微镜及探针馈电单元，其特征在于：所述机台的操作平台上设有移动载物台以及探针移动控制座，该移动载物台的底部设有气浮轴承，所述移动载物台上设有支撑轴及与支撑轴转动配合的且能够升降的旋转升降结构，所述探针移动控制座上设有安装板、X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构，且所述探针馈电单元设置于安装板上，所述旋转升降结构上设有用于放置测试元件的载物板，所述安装板通过X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构带动使探针馈电单元的探针与测试元件接触导通。

技术领域

本实用新型涉及一种电子元件测试装置，特别是一种气浮式调节探针台。

背景技术

现如今，探针台主要对半导体行业以及光电行业的电子元件(如芯片、晶元等)进行测试分析的精密机台，探针台被广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。随着半导体技术的发展，芯片的集成度越来越高，因而对探针台的要求也越来越高，本申请人设计了一款操作方便且精密度高的手动式气浮调节探针台。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种气浮式调节探针台。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种气浮式调节探针台，包括机台及设置于机台上的显微镜及探针馈电单元，其特征在于：所述机台的操作平台上设有移动载物台以及探针移动控制座，该移动载物台的底部设有气浮轴承，所述移动载物台上设有支撑轴及与支撑轴转动配合的且能够升降的旋转升降结构，所述探针移动控制座上设有安装板、X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构，且所述探针馈电单元设置于安装板上，所述旋转升降结构上设有用于放置测试元件的载物板，所述安装板通过X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构带动使探针馈电单元的探针与测试元件接触导通。

所述旋转升降结构包括支撑套筒及转动座，所述支撑套筒通过滚珠套与支撑轴配合，所述转动座通过轴承组件与支撑套筒连接，所述载物板与支撑套筒连接。

所述转动座上设有斜槽及手杆，所述移动载物台上设有支板，该支板上设有位于斜槽中的导引柱。

所述移动载物台上设有角度微调机构，角度微调机构包括角度调节板、相对设置的调节支撑板、设置于一调节支撑板上的弹性顶杆及设置于另一调节支撑板上的角度调节杆，该角度调节板与支撑套筒连接，所述角度调节板位于弹性顶杆及角度调节杆间且与上述两者接触。

所述X向调节机构包括X向滑板及X向微调杆，所述Y向调节机构包括设置于X向滑板上的Y向滑板及Y向微调杆；所述Z向调节机构包括设置于Y向滑板上的Z向滑板及Z向微调杆，所述安装板与Z向滑板连接。

所述X向滑板上设有能够于X向滑板上转动的V形杆一，所述Y向微调杆能够挤压V形杆一的一个杆脚使V形杆一转动，且同时V形杆一的另一个杆脚能够推动Y向滑板移动，且Y向滑板与X向滑板间设有能够使Y向滑板复位的弹性件一。

所述Y向滑板上设有能够于Y向滑板上转动的V形杆二25，所述Z向微调杆能够挤压V形杆二25的一个杆脚使V形杆二25转动，且同时V形杆二25的另一个杆脚能够带动Z向滑板升起。

所述Y向滑板上设有滚轮一，所述V形杆一的另一个杆脚能够推动滚轮一。

所述V形杆二25的另一个杆脚上设有滚轮二，所述滚轮二与Z向滑板接触。

所述X向滑板与操作平台上间设有能够使X向滑板复位的弹性件二。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的移动载物台采用了气浮轴承支撑，因而手动操作时只需很小的力量就可以移动，因而方便以及容易准确方便快捷的定位，探针馈电单元采用X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构实现空间三维调节，从而能够方便准确使探针馈电单元的探针与被测试元件准确接触。

附图说明