[实用新型]一种二阶高压干式真空泵组

权利要求书

1.一种二阶高压干式真空泵组，其特征在于：包括前级泵（1）、后级泵（2）、进气口（4）、管路（5）、前止回阀（6）、烘干机（8）、流速控制阀（9）、排气扇（10）、后止回阀（11）、高压风机（12）和出气口（13）；所述前级泵（1）和后级泵（2）间通过后止回阀（11）连接；所述前级泵（1）前方设有管路（5）；所述管路（5）中部设有前止回阀（6）；所述管路（5）另一端设有进气口（4）；所述前级泵（1）底部设有烘干机（8）；所述前级泵（1）外侧设有流速控制阀（9）；所述前级泵（1）顶端设有排气扇（10）；所述后级泵（2）上方设有高压风机（12）；所述后级泵（2）后方设有出气口（13）。

2.根据权利要求1所述的一种二阶高压干式真空泵组，其特征在于：所述前级泵（1）为气体传输泵；所述后级泵（2）为气体捕集泵；所述前级泵（1）和后级泵（2）的泵体均为竖直圆柱形，表面覆盖有隔热材料。

3.根据权利要求1所述的一种二阶高压干式真空泵组，其特征在于：所述进气口（4）上设置有环扣（3）。

4.根据权利要求1所述的一种二阶高压干式真空泵组，其特征在于：所述前止回阀（6）和后止回阀（11）为单向阀塞。

5.根据权利要求1所述的一种二阶高压干式真空泵组，其特征在于：所述管路（5）为PVC薄壁管道，内壁涂有防腐涂层。

6.根据权利要求1所述的一种二阶高压干式真空泵组，其特征在于：所述烘干机（8）外放置若干硫酸钙（7）。

7.根据权利要求1所述的一种二阶高压干式真空泵组，其特征在于：所述流速控制阀（9）与管路（5）端口处机械连接。