[实用新型]用于石英坩埚搬运的装置有效

专利信息
申请号: 202023063693.9 申请日: 2020-12-18
公开(公告)号: CN214600880U 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 邓红;何玉鹏;王建军;李常国;李卫 申请(专利权)人: 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
主分类号: B08B9/24 分类号: B08B9/24;B08B13/00
代理公司: 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 代理人: 孙彦虎
地址: 750021 宁夏回*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 用于 石英 坩埚 搬运 装置
【权利要求书】:

1.一种用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:包括下挡板、至少三个连接支柱、上挡板,所述下挡板的上端与连接支柱的下端固定连接,连接支柱的上端与上挡板套设连接,连接支柱围成多边形区域,以防止石英坩埚从侧部倾倒,连接支柱的上端还设有卡持部,以固定上挡板,所述下挡板的中间设有圆形孔,圆形孔的直径小于坩埚的直径,以放置石英坩埚。

2.如权利要求1所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述用于石英坩埚搬运的装置包括四个连接支柱,相应的,在上挡板上设有四个安装槽,以便于连接支柱穿过。

3.如权利要求2所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述连接支柱的上端设有凸台,所述凸台的直径小于连接支柱的直径,以使上挡板能够架设在连接支柱上,凸台与安装槽套设连接,凸台上设有外螺纹,以通过螺母将上挡板固定,螺母为连接支柱的卡持部。

4.如权利要求3所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述安装槽有四条边,其中两条相正对的边为弧形边,另外两条相正对的边为直线边,两条直线边的间距与凸台的直径相同,其中一个弧形边的直径与凸台的直径相同,另一个弧形边的直径大于凸台的直径。

5.如权利要求1所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述上挡板的边缘设有一个第一方形孔,以便于操作人员抓握。

6.如权利要求1所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述下挡板的边缘设有四个第二方形孔,以便于操作人员抬放。

7.如权利要求1所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述上挡板的中心设有一个圆形通孔,以便于酸液能够进出石英坩埚。

8.如权利要求1所述的用于石英坩埚搬运的装置,其特征在于:所述连接支柱为可升降支柱。

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