[实用新型]一种籽晶检测用晶向测量装置

说明书

本实用新型涉及一种籽晶检测用晶向测量装置，包括底板，所述底板的顶部固定设有安装板，所述安装板上位于且中心处开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动设有籽晶夹紧器，所述籽晶夹紧器的底部设有由驱动器驱动的旋转筒，所述旋转筒的内部设有与籽晶夹紧器相连接的驱动气缸，所述驱动器的一侧设有固定于底板上的底座，所述底座的顶部固定设有立杆，所述立杆的端部固定设有晶向测量仪；本实用新型使用时将籽晶置于籽晶夹紧器上，驱动气缸驱动籽晶夹紧器移动从而调节籽晶的位置，晶向测量仪对籽晶进行测量，在测量的过程中，驱动器驱动旋转筒转动，从而驱动籽晶旋转，达到对籽晶各个角度的晶向的测量，可以适用于不同尺寸的籽晶的晶向测量。

技术领域

本实用新型涉及籽晶检测设备技术领域，尤其涉及一种籽晶检测用晶向测量装置。

背景技术

单晶硅是制造半导体硅器件的主要原料，广泛应用于制造大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等，但由于单晶硅晶体生长中成核是比较困难的一步，在单晶硅晶体生长过程中需要采用籽晶进行引导，籽晶实际上就是提供一个晶体比较容易继续生长的中心，籽晶要求选材要好，要选用晶向一致、无位错、无损伤、无应力的部分，一般取材部位与尾部要有足够距离，目前的籽晶在加工完成后需要进行检测其晶向，目前的晶向测量设备不能精确的测量籽晶的晶向，也不能适用于不同尺寸的籽晶的测量。为此，我们提出一种籽晶检测用晶向测量装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种籽晶检测用晶向测量装置。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种籽晶检测用晶向测量装置，包括底板，所述底板的顶部固定设有安装板，所述安装板上位于且中心处开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动设有籽晶夹紧器，所述籽晶夹紧器的底部设有由驱动器驱动的旋转筒，所述旋转筒的内部设有与籽晶夹紧器相连接的驱动气缸，所述驱动器的一侧设有固定于底板上的底座，所述底座的顶部固定设有立杆，所述立杆的端部固定设有晶向测量仪。

进一步的，所述籽晶夹紧器包括滑动安装于滑槽内部的上夹紧组件和下夹紧组件，所述上夹紧组件和下夹紧组件之间通过夹紧弹簧连接。

进一步的，所述上夹紧组件包括上夹紧板，所述上夹紧板上位于晶向测量仪的一侧活动设有上夹紧柱，所述上夹紧柱的底部套设有上橡胶套，所述上夹紧板上位于安装板的另一侧设有与下夹紧组件相连接的调节器，上夹紧板的两端设有与其一体成型的且与滑槽相配合的上滑块，所述上滑块的两侧设有与其一体成型的且与滑槽内部的限位槽相配合的上限位条。

进一步的，所述下夹紧组件包括下夹紧板，所述下夹紧板上位于晶向测量仪的一侧活动设有下夹紧柱，所述下夹紧柱的顶部套设有下橡胶套，所述下夹紧板的两端设有与其一体成型的且与滑槽相配合的下滑块，所述下滑块的两侧设有与其一体成型的且与滑槽内部的限位槽相配合的下限位条。

进一步的，所述调节器包括插设于上夹紧板上位于安装板的另一侧的且延伸至下夹紧板上的连接杆，所述连接杆上靠近其两端处设有螺纹段，所述螺纹段上螺接有调节螺母。

进一步的，所述驱动器包括安装于底板上的由电机驱动的齿轮，所述齿轮上啮合有与齿轮相啮合的齿环。

本实用新型使用时将籽晶置于籽晶夹紧器上，驱动气缸驱动籽晶夹紧器移动从而调节籽晶的位置，晶向测量仪对籽晶进行测量，在测量的过程中，驱动器驱动旋转筒转动，从而驱动籽晶旋转，达到对籽晶各个角度的晶向的测量，测量结果精确，可以适用于不同尺寸的籽晶的晶向测量。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是本实用新型一个角度的整体结构示意图；

图2是本实用新型另一个角度的整体结构示意图；