[实用新型]一种半导体观察显微镜机台

权利要求书

1.一种半导体观察显微镜机台，其特征在于，包括光学玻璃平台、X轴移动平台、X轴传动机构、Y轴移动平台、Y轴传动机构、显微镜和Z轴传动机构；

所述Y轴传动机构与Y轴移动平台相连，且能够控制Y轴移动平台在Y轴方向运动；

所述X轴移动平台和X轴传动机构均安装于Y轴移动平台上，所述X轴传动机构与X轴移动平台相连，且能够控制X轴移动平台在X轴方向运动；

所述光学玻璃平台设于X轴移动平台上；

所述显微镜安装于光学玻璃平台上方，所述Z轴传动机构与显微镜相连，且能够控制显微镜在Z轴方向运动。

2.根据权利要求1所述的半导体观察显微镜机台，其特征在于，所述Y轴传动组件包括Y轴丝杆、套于Y轴丝杆上的Y轴无牙螺母以及与Y轴丝杆一端相连的Y轴手轮，所述Y轴丝杆的两端安装有Y轴支撑板。

3.根据权利要求2所述的半导体观察显微镜机台，其特征在于，所述Y轴传动组件还包括两条平行设置的Y轴平台支撑轨，所述Y轴平台支撑轨和Y轴无牙螺母的顶部均与Y轴移动平台固定连接。

4.根据权利要求1所述的半导体观察显微镜机台，其特征在于，所述X轴传动机构包括X轴手轮、与X轴手轮相连的横杆、与横杆相垂直的竖杆、与竖杆相垂直的传动杆、与传动杆平行的X轴丝杆以及套于X轴丝杆上的X轴无牙螺母，所述横杆上设有第一斜齿轮，所述竖杆的底端设有与第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮，顶端设有第三斜齿轮，所述传动杆的一端设有与第三斜齿轮相啮合的第四斜齿轮，另一端设有第一皮带轮，所述X轴丝杆的一端设有第二皮带轮，所述第一皮带轮和第二皮带轮间连接有皮带。

5.根据权利要求4所述的半导体观察显微镜机台，其特征在于，所述X轴丝杆的两端安装有X轴支撑板，所述第一皮带轮和第二皮带轮安装在其中一个X轴支撑板上。

6.根据权利要求4所述的半导体观察显微镜机台，其特征在于，所述X轴传动机构还包括两条平行设置的X轴平台支撑轨，所述X轴平台支撑轨和X轴无牙螺母的顶部均与X轴移动平台固定连接。

7.根据权利要求1所述的半导体观察显微镜机台，其特征在于，所述Z轴传动机构包括Z轴丝杆、与Z轴丝杆一端相连的伺服电机以及套于Z轴丝杆上的Z轴位移块，所述Z轴位移块与显微镜相连。

8.根据权利要求1所述的半导体观察显微镜机台，其特征在于，所述显微镜上设有上光源，所述显微镜的正下方设有下光源。

9.根据权利要求1所述的半导体观察显微镜机台，其特征在于，所述显微镜为多倍率可变焦镜头显微镜。

10.根据权利要求1所述的半导体观察显微镜机台，其特征在于，所述半导体观察显微镜机台还包括操作面板。