[实用新型]一种氦质谱检漏仪的新型质谱室结构

说明书

本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪的新型质谱室结构，包括腔体、隔板、连接管，所述隔板设置在所述腔体内部，将所述腔体分割为电离腔和质谱腔，所述连接管设置在所述腔体外部，其轴向线与所述腔体长度方向具有一定夹角，所述连接管的一端与所述电离腔连通，另一端与分子泵连通。本实用新型采用全新的组装结构，将质谱室与分子泵的对接接口做一定角度的偏转；减短了质谱室与连接管的总体长度尺寸，即减短了质谱室的机械力臂，同时不对质谱工艺产生负面影响；通过减短机械力臂的原理有效减少了分子泵带来的震动，有效保护了分子泵，延长了分子泵的使用寿命；并且由于震动的减小，同时提高了检测数据的精确性。

技术领域

本实用新型涉及真空检漏技术领域，具体涉及一种氦质谱检漏仪的新型质谱室结构。

背景技术

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高、精确度高的特点。氦质谱检漏试验是目前密封性检验的最有效手段。

氦质谱仪的主要组成部分有真空系统、离子源、质谱室、电子电路、电气系统等组成。质谱室作为氦质谱检漏仪的重要组成部分之一，其组成部分有腔体、方法兰、锥形筒、隔板、连接管、圆法兰、磁铁安装螺钉等。

焊接在质谱室腔体内部的隔板将质谱室分割为电离腔和质谱腔。仪器工作时通过离子源发射出来的电子在电离腔内来回的振荡，与质谱室内气体和经被检件漏孔进入电离腔的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道。不同质量的离子通过磁场和接收缝到达质谱腔的接收极而被检测。

现有检漏仪的质谱室全部采用直线型安装，将质谱室的连接管装置在腔体的侧面，总体结合之后尺寸较长。而质谱室连接管的另一端则需要与分子泵对接，分子泵运行时会产生震动，较长尺寸的质谱室对震动尤其敏感，甚至会产生共振现象，进而损坏分子泵，分子泵作为高精密部件，成本高昂，一旦损坏则造成重大损失。为此，提出一种氦质谱检漏仪的新型质谱室结构。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：如何解决现有质谱室直线型安装存在的对震动十分敏感，甚至会产生共振现象等问题，提供了一种氦质谱检漏仪的新型质谱室结构。

本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本实用新型包括腔体、隔板、连接管，所述隔板设置在所述腔体内部，将所述腔体分割为电离腔和质谱腔，所述连接管设置在所述腔体外部，其轴向线与所述腔体长度方向具有一定夹角，所述连接管的一端与所述电离腔连通，另一端与分子泵连通。

优选的，所述隔板上设置有用于连通电离腔和质谱腔的预留孔。

优选的，所述新型质谱室结构还包括方法兰，所述方法兰设置在所述腔体上。

优选的，所述方法兰上设置有两个安装孔，两个所述安装孔分别与质谱放大器、离子源连接。

优选的，所述新型质谱室结构还包括圆法兰，所述圆法兰设置在所述连接管与分子泵的端部。

优选的，所述连接管的轴向线与所述腔体长度方向之间的夹角为90°。

本实用新型相比现有技术具有以下优点：采用全新的组装结构，将质谱室与分子泵的对接接口做一定角度的偏转；减短了质谱室与连接管的总体长度尺寸，即减短了质谱室的机械力臂，同时不对质谱工艺产生负面影响；通过减短机械力臂的原理有效减少了分子泵带来的震动，有效保护了分子泵，延长了分子泵的使用寿命；并且由于震动的减小，同时提高了检测数据的精确性。

附图说明

图1是常规直线型安装质谱室的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中L型质谱室与分子泵的相结合示意图；

图3是本实用新型实施例中L型质谱室的结构示意图。