[实用新型]具有浓度自调节功能的湿法清洗设备

权利要求书

1.一种具有浓度自调节功能的湿法清洗设备，其特征在于，包括：清洗槽、补给管路、浓度监测装置及控制装置；所述清洗槽用于承载清洗液及待清洗件；所述补给管路一端与所述清洗槽相连通，另一端与补给源相连接，所述补给管路上设置有电动阀；所述浓度监测装置位于所述清洗槽内；所述控制装置与所述浓度监测装置及电动阀相连接，以基于所述浓度监测装置的监测结果控制所述电动阀的通断，由此向所述清洗槽内补充所需的化学液，以将所述清洗槽内的清洗液浓度维持在预设值。

2.根据权利要求1所述的具有浓度自调节功能的湿法清洗设备，其特征在于，所述清洗槽包括SC-1清洗槽和SC-2清洗槽中的一种或两种，所述补给管路包括氨水补给管路、双氧水补给管路、盐酸补给管路和氢氟酸补给管路，分别连接至对应的补给源。

3.根据权利要求2所述的具有浓度自调节功能的湿法清洗设备，其特征在于，所述湿法清洗设备还包括去离子水补给管路，去离子水补给管路一端与去离子水补给源相连接，另一端与所述清洗槽相连通。

4.根据权利要求1所述的具有浓度自调节功能的湿法清洗设备，其特征在于，所述清洗槽上还设置有加热装置。

5.根据权利要求1所述的具有浓度自调节功能的湿法清洗设备，其特征在于，所述补给管路上还设置有质量流量计。

6.根据权利要求1所述的具有浓度自调节功能的湿法清洗设备，其特征在于，所述清洗槽的排液口连接至排液管，所述排液管上设置有排液阀，所述排液阀与所述控制装置相连接。

7.根据权利要求1所述的具有浓度自调节功能的湿法清洗设备，其特征在于，所述清洗槽内还设置有液位计。

8.根据权利要求1所述的具有浓度自调节功能的湿法清洗设备，其特征在于，所述湿法清洗设备还包括回收槽，位于所述清洗槽的外围。

9.根据权利要求8所述的具有浓度自调节功能的湿法清洗设备，其特征在于，所述回收槽内设置有过滤装置，经过滤后的液体输送回所述清洗槽内。

10.根据权利要求1-9任一项所述的具有浓度自调节功能的湿法清洗设备，其特征在于，所述控制装置为PID控制器。