[实用新型]一种半导体用的特殊气体输送装置

权利要求书

1.一种半导体用的特殊气体输送装置，包括第一输送弯管(1)，其特征在于：所述第一输送弯管(1)的一端固定连接有固定连接器(2)，所述固定连接器(2)的一侧固定连接有位于第一输送弯管(1)一侧的中输送管(3)，所述中输送管(3)的一侧固定连接有第二输送弯管(4)，所述第二输送弯管(4)的一端固定连接有混合器(5)，所述混合器(5)的表面固定连接有转动轴(6)，所述转动轴(6)的一侧固定连接有位于混合器(5)一侧的连接口(7)，所述连接口(7)的一侧固定套接有位于混合器(5)侧部的保护套(8)，所述保护套(8)的一侧活动套接有位于混合器(5)内部的卡接管(9)，所述卡接管(9)的侧部固定连接有齿轮圈(10)，所述齿轮圈(10)的一侧设有位于卡接管(9)两端的卡口(11)，所述卡口(11)的侧部卡接有连接管(12)，所述连接管(12)的一端固定连接有气体滞留器(13)，所述气体滞留器(13)的一侧设有单管连接口(14)，所述单管连接口(14)的一端固定连接有传输管(15)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体输送装置，其特征在于：所述混合器(5)的表面开设有三个槽，所述转动轴(6)的两端固定连接有卡接钮(16)，所述转动轴(6)的两端通过卡接钮(16)卡接在混合器(5)的表面开设有三个槽的内侧。

3.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体输送装置，其特征在于：所述转动轴(6)和卡接管(9)的侧部开设有齿轮纹，所述转动轴(6)的侧部与卡接管(9)的侧部相互贴合。

4.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体输送装置，其特征在于：所述混合器(5)的两侧均固定连接有三个连接口(7)，且三个连接口(7)的直径相同，所述混合器(5)的内侧开设有三个圆形孔圆形孔的内侧设有定位块(18)，圆形孔的内部均活动套接有卡接管(9)，所述卡接管(9)的侧部的相对面方向均设有限转块(17)，所述定位块(18)和限转块(17) 接触时，旋转角度为90度。

5.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体输送装置，其特征在于：所述卡接管(9)和连接管(12)的一端的内侧均固定连接有限气盘(19)，两个限气盘(19)的表面均开设有相同大小透气孔(20)，且两个限气盘(19)相互贴合。

6.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体输送装置，其特征在于：所述第一输送弯管(1)、中输送管(3)、第二输送弯管(4)和传输管(15)的一端均固定连接有固定连接器(2)，且固定连接器(2)的内侧设有螺旋纹。

7.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体输送装置，其特征在于：所述混合器(5)的内侧活动套接有三个卡接管(9)，三个卡接管(9)的一端分别卡接在第一输送弯管(1)、中输送管(3)和第二输送弯管(4)的一端，三个卡接管(9)的另一端卡接在连接管(12)的一端。

8.根据权利要求1所述的一种半导体用的特殊气体输送装置，其特征在于：所述气体滞留器(13)的一侧固定连接有三个连接口(7)，且直径与混合器(5)一侧固定连接的三个连接口(7)的直径相同，所述气体滞留器(13)的另一侧固定连接有单管连接口(14)。