[实用新型]一种激光功率在线监测装置

权利要求书

1.一种激光功率在线监测装置，其特征在于，包括光路块，所述光路块的顶面设有第一通光孔和第二通光孔，所述第一通光孔与第二通光孔平行；所述第一通光孔贯穿光路块的底面，所述第一通光孔内嵌设有分光镜组，所述第二通光孔内嵌设有反射镜组，所述反射镜组与分光镜组之间设有光路通道，所述光路通道与第一通光孔/第二通光孔垂直，所述反射镜组的反射面与分光镜组的反射面相对；所述光路块的顶面对应第二通光孔的位置设有功率监测模块；激光器发出的激光由第一通光孔射入光路块，经分光镜组分光变为两束激光，一束透过分光镜组从第一通光孔底部射出，用于激光加工；另一束经分光镜组反射后，再经反射镜组反射至功率监测模块，对激光束进行功率监测。

2.根据权利要求1所述的一种激光功率在线监测装置，其特征在于，所述光路块的底面对应第一通光孔的位置设有转接板，所述转接板中部设有与所述第一通光孔对应的通孔，所述分光镜组安装在转接板的顶面。

3.根据权利要求2所述的一种激光功率在线监测装置，其特征在于，所述分光镜组包括分光镜座和安装在所述分光镜座上的分光镜片，所述分光镜座安装在转接板顶面；所述分光镜片与水平方向的夹角为45°。

4.根据权利要求3所述的一种激光功率在线监测装置，其特征在于，所述反射镜组包括反射镜座和安装在所述反射镜座上的反射镜片，所述反射镜片与分光镜片垂直。

5.根据权利要求4所述的一种激光功率在线监测装置，其特征在于，所述光路块的前侧面设有安装孔，所述安装孔分别与第二通光孔、光路通道垂直，所述反射镜座安装在所述安装孔内。

6.根据权利要求5所述的一种激光功率在线监测装置，其特征在于，所述反射镜座位于反射镜片背侧设有第一透光孔和第二透光孔，所述第一透光孔与光路通道同轴，所述第二透光孔与第二通光孔同轴；所述光路块的左侧面设有第三通光孔，所述第三通光孔与光路通道同轴；所述第二通光孔贯穿光路块的底面；所述第三通光孔内安装有第一密封盖，所述光路块的底面对应第二通光孔的位置安装有第二密封盖。

7.根据权利要求6所述的一种激光功率在线监测装置，其特征在于，所述第一密封盖/第二密封盖的内侧端面为斜面。

8.根据权利要求1所述的一种激光功率在线监测装置，其特征在于，所述功率监测模块包括壳体和盖板，所述壳体底部开口，所述壳体安装在光路块顶面对应第二通光孔的位置；所述壳体内部设有功率监测单元和电路板，所述电路板上集成有放大电路、A/D转换电路和微处理器。

9.根据权利要求8所述的一种激光功率在线监测装置，其特征在于，所述功率监测单元包括热电传感器或光电传感器。

10.根据权利要求8所述的一种激光功率在线监测装置，其特征在于，所述壳体与第二通光孔之间通过法兰件连接，所述法兰件内部设有衰减片。