[实用新型]一种简单实用的PVD镀膜电源模组

权利要求书

1.一种简单实用的PVD镀膜电源模组，包含：三相整流及滤波电路，其特征在于，所述三相整流及滤波电路输入端接三相交流输入，三相整流及滤波电路输出端连接移相逆变全桥电路，移相逆变全桥电路经过高频变压器后接到单相整流电路，单相整流电路依次经过滤波电路、斩波电路后连接反极性电路；

斩波电路与保护电路相连接，保护电路输出端连接控制电路，控制电路输入端连接单相整流电路、滤波电路，控制电路输出端连接移相逆变全桥电路，反极性电路输出端连接真空镀膜负载。

2.根据权利要求1所述的一种简单实用的PVD镀膜电源模组，其特征在于，所述三相整流及滤波电路的二极管D1、D2、D3、D6、D7、D8组成桥臂电路，桥臂的一个对角连接极性电容C2；

移相逆变全桥电路中的IGBT管Q4、Q5、Q7、Q8构成全桥移相电路，电桥的一个对角通过三相整流及滤波电路后接到三相交流输入，电桥的另一个对角接到高频变压器T1。

3.根据权利要求1所述的一种简单实用的PVD镀膜电源模组，其特征在于，所述单相整流电路中的二极管D4、D5、D9、D10构成单相整流电路桥，二极管D4、D5、D9、D10组成桥臂电路，桥臂的一个对角连接高频变压器T1，桥臂的另一个对角连接滤波电路；

滤波电路中的滤波电感L1和滤波电容C1构成低通滤波电路，单相整流电路、滤波电路连接到DSP控制板的调相电路及AD接口。

4.根据权利要求1所述的一种简单实用的PVD镀膜电源模组，其特征在于，所述斩波电路的IGBT管Q3集电极C连接滤波电路，IGBT管Q3门极G连接N2光耦隔离驱动电路，IGBT管Q3发射极E通过二极管D12正极-负极接到反极性电路中的电感L2，电感L2另一端接到IGBT管Q6集电极C；

反极性电路由电感L2、IGBT管Q6组成，电感L2接到输出的正极OUT+，IGBT管Q6发射极E接到输出的负极OUT-，IGBT管Q6门极G连接N3高速光耦隔离驱动电路。

5.根据权利要求1所述的一种简单实用的PVD镀膜电源模组，其特征在于，所述控制电路由DSP控制板及其外围电路构成，DSP控制板的PWM输出接口经过比较器U1A、N3高速光耦隔离驱动电路后接到反极性电路的IGBT管Q6门极G；比较放大器U6A引脚3通过电阻R16、R17、R18后接到真空镀膜负载的正电压OUT+端，比较放大器U6A引脚2通过电阻R21、R22、R23接到真空镀膜负载的负电压OUT-端，比较放大器U6A输出端通过电阻R20接到DSP控制板的调相电路及AD接口；DSP控制板的高速串口连接上位机。

6.根据权利要求1所述的一种简单实用的PVD镀膜电源模组，其特征在于，所述保护电路由放大器U4A、U5A及其外围电路构成，放大器U4A引脚2通过电阻R8、放大器U5A引脚2通过电阻R15后接到反极性电路的电感L2，放大器U5A引脚1输出端接到DSP控制板的调相电路及AD接口，放大器U4A引脚1经过耦合器U3后接到N2光耦隔离驱动电路及DSP控制板的PWM输出、中断接口，PWM输出、中断接口接到比较器U1A引脚2。