[实用新型]小型手动探针台

权利要求书

1.小型手动探针台，其特征在于，包括：

底板；

载片台，设有真空腔和与所述真空腔连通的吸附孔；

XYZ三轴位移台，滑动设于所述底板上，用于连接并精调探针的位置；所述XYZ三轴位移台为两组，左右对称设于所述载片台的两侧；所述XYZ三轴位移台借助X向直线导轨粗调到所述载片台的位移；

显微镜滑台，借助XY双向导轨滑动设于所述底板上；所述显微镜滑台借助所述XY双向导轨精调到所述载片台的位置；以及

Z向调整杆，固定于所述显微镜滑台上，用于安装显微镜并精调所述显微镜的Z向位移；以及

显微镜，安装于所述Z向调整杆上。

2.如权利要求1所述的小型手动探针台，其特征在于，所述XYZ三轴位移台上设有用于调整探针尖端面的探针旋转臂，所述探针旋转臂沿X向朝向所述载片台延伸，所述探针旋转臂的悬臂端连接测试的探针。

3.如权利要求2所述的小型手动探针台，其特征在于，所述XYZ三轴位移台上设有探针旋转臂支座，所述探针旋转臂支座上设有与所述探针旋转臂转动配合的安装孔，所述探针旋转臂安装座上还设有用于锁紧所述探针旋转臂的锁紧螺钉，所述锁紧螺钉与所述探针旋转臂支座上的螺纹孔螺接。

4.如权利要求3所述的小型手动探针台，其特征在于，所述探针旋转臂的悬臂端设有探针安装座，所述探针安装座用于连接测试的探针。

5.如权利要求4所述的小型手动探针台，其特征在于，所述探针旋转臂的悬臂端还设有探针悬挂板，所述探针安装座与所述探针悬挂板固定连接。

6.如权利要求5所述的小型手动探针台，其特征在于，所述XYZ三轴位移台上还设有顶板，所述探针旋转臂支座与所述顶板固定连接。

7.如权利要求1所述的小型手动探针台，其特征在于，所述显微镜滑台上设有用于显微镜位置粗调的显微镜连接板，所述Z向调整杆安装在所述显微镜连接板上，所述显微镜连接板上设有两道Y向粗调滑槽，所述显微镜滑台上对应各所述Y向粗调滑槽设有用于导向和固定的螺栓。

8.如权利要求7所述的小型手动探针台，其特征在于，所述显微镜连接板上还设有用于粗调显微镜高度的垫板，所述Z向调整杆固定在所述垫板上。

9.如权利要求1所述的小型手动探针台，其特征在于，所述载片台包括上载台和与所述上载台螺栓连接的下载台，所述上载台设有上腔，所述下载台设有下腔，所述上载台与所述下载台密封连接，所述上腔和所述下腔构成所述真空腔，所述吸附孔设置在所述上载台上，所述下载台的侧面设有与所述下腔连通的通孔。

10.如权利要求9所述的小型手动探针台，其特征在于，所述上载台与所述下载台相接的端面分别设有环形凹槽，所述环形凹槽内设有密封圈。