[实用新型]一种高纯金靶材加工成型用冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种高纯金靶材加工成型用冷却装置，包括上模板和下模板；所述下模板的下方设有底座，所述底座的上表面、下模板的左右两侧均设有挡板，所述挡板和底座均通过导热硅胶与下模板固定连接；所述下模板的左右两侧均设有多个第一导热管，所述第一导热管的右侧、挡板的内部设有第二导热管；所述挡板的外侧设有多个散热圈；所述下模板的后方、底座的上表面还固定有冷凝器，所述冷凝器的输出端上设有冷凝管；在金属靶加工成型的过程中，下模板通过第一导热管和第一导热管将热量传递给散热圈，散热圈具有很好的散热效果；此外冷凝器将冷媒传输给冷凝管，冷媒在冷凝器和冷凝管中循环流动，进一步的起到了对下模板降温的作用。

技术领域

本实用新型涉及金属靶加工领域，具体是一种高纯金靶材加工成型用冷却装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应；靶材在生产过程中，需要对靶材进行冷却，传统的冷却采用风冷，风冷过程中，容易使空气中的灰尘、颗粒等杂质吸附在靶材表面，影响美观度，冷却效果差。

在此基础上，中国专利公告号CN210529044U公开了一种靶材的U型冷却水循环装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端一侧焊接有第二支撑板，第二支撑板的一侧侧壁焊接有第一固定板，第一固定板的另一端焊接有第一U型管，第一U型管的上方设置有第二U型管，第一U型管和第二U型管相互远离的一侧连接有循环管，循环管上连接有水泵，第一U型管和第二U型管的U型槽侧壁焊接有第一导热板，第一导热板相互靠近的一侧侧壁沿竖直方向开设有卡位槽，卡位槽内滑动连接有第二导热板，第二支撑板靠近第二U型管的一侧侧壁开设有滑槽；该实用新型将传统的风冷替换为水冷，不仅能够快速对多个不同大小和厚度的靶材进行水冷却，而且对冷却水进行快速循环散热，提高了冷却效率；该装置仅仅通过水冷进行散热，缺少导热装置，装置中产生的热量往往不能充分的传递出来，进而造成了冷却不充分的现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高纯金靶材加工成型用冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种高纯金靶材加工成型用冷却装置，包括上模板和下模板，所述下模板位于上模板的正下方；所述下模板的下方设有底座，所述底座的上表面、下模板的左右两侧均设有挡板，所述挡板和底座均通过导热硅胶与下模板固定连接；所述下模板的左右两侧均设有多个第一导热管，所述第一导热管穿插在导热硅胶的内部并与其固定连接，所述第一导热管的右侧、挡板的内部设有第二导热管；所述挡板的外侧设有多个散热圈，所述散热圈的右侧设有水箱，所述水箱与底座固定连接，所述散热圈远离挡板的一端位于水箱的内部；所述下模板的后方、底座的上表面还固定有冷凝器，所述冷凝器的输出端上设有冷凝管，所述冷凝管为“S”型回旋形状设置，所述冷凝管穿插在导热硅胶的内部，所述挡板和下模板的顶部还固定有压板。

作为本实用新型的优选方案：所述下模板的外部固定有第一导热片，所述第一导热管的右端与第一导热片固定连接。

作为本实用新型再进一步的优选方案：所述挡板的内侧固定有第二导热片，所述第一导热管的右端与第二导热片固定连接，第二导热管的左端与第二导热片固定连接。

作为本实用新型再进一步的优选方案：所述挡板的外侧还固定有第三导热片，所述第二导热管的右端与第三导热片固定连接，散热圈的左端与第三导热片固定连接。

作为本实用新型再进一步的优选方案：所述水箱的内部设有温度传感器，温度传感器的内部设有微处理器，水箱的右壁上分别设有进水口和出水口，所述进水口与外部水源相通，所述进水口出水口上均设有电磁阀。