[实用新型]硅棒快速降温系统有效
申请号: | 202023085360.6 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN214087738U | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 靳志明;甘易武;韩成福;吴巧芸;姜兴;李亚昆;冉胜国;刘廷泽 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 张巨箭 |
地址: | 810007 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 快速 降温 系统 | ||
1.硅棒快速降温系统,其特征在于:包括:
还原炉,包括钟罩夹套和电极冷却装置,所述钟罩夹套具有入口和出口,所述还原炉内部设有硅棒;
闪蒸罐,包括闪蒸出水管线和闪蒸回水管线,所述闪蒸出水管线与钟罩夹套的入口连接,闪蒸回水管线与钟罩夹套的出口连接,所述闪蒸出水管线上设置有高温进水阀门,所述闪蒸回水管线上设置有高温出水阀门;
电极水罐,包括电极水罐出水管线和电极水罐回水管线,所述电极水罐出水管线与电极冷却装置的进水端连接,所述电极水罐回水管线与电极冷却装置的回水端连接;
所述系统还包括硅棒冷却进水管线和硅棒冷却回水管线,所述硅棒冷却进水管线上设置有冷却水进水阀门,所述硅棒冷却回水管线上设置有冷却水出水阀门;所述硅棒冷却进水管线的一端连接至所述电极水罐出水管线,硅棒冷却进水管线的另一端连接至高温进水阀门和钟罩夹套的入口之间的闪蒸出水管线;所述硅棒冷却回水管线的一端连接至高温出水阀门和钟罩夹套的出口之间的闪蒸回水管线,硅棒冷却回水管线的另一端连接至电极水罐。
2.根据权利要求1所述的硅棒快速降温系统,其特征在于:所述闪蒸出水管线上还设置有高温水循环泵;所述电极水罐出水管线上还设置有电极水循环泵。
3.根据权利要求1所述的硅棒快速降温系统,其特征在于:所述闪蒸罐还包括第一脱盐水输入管线、蒸汽凝液输入管线和蒸汽输出管线。
4.根据权利要求3所述的硅棒快速降温系统,其特征在于:所述蒸汽输出管线的压力为0.28—0.33Mpa。
5.根据权利要求3所述的硅棒快速降温系统,其特征在于:所述蒸汽凝液输入管线的温度大于90℃。
6.根据权利要求1所述的硅棒快速降温系统,其特征在于:所述电极水罐还包括第二脱盐水输入管线。
7.根据权利要求1所述的硅棒快速降温系统,其特征在于:所述电极水罐为20—45℃电极水罐。
8.根据权利要求2所述的硅棒快速降温系统,其特征在于:所述系统还包括:
控制器,用于控制所述高温水循环泵、电极水循环泵的启停,同时还用于控制高温进水阀门、高温出水阀门、冷却水进水阀门、冷却水出水阀门的开闭。
9.根据权利要求8所述的硅棒快速降温系统,其特征在于:所述控制器用于在还原炉硅棒生长期间,控制所述高温水循环泵运行、控制高温进水阀门和高温出水阀门开启、并控制冷却水进水阀门和冷却水出水阀门关闭;
所述控制器还用于在还原炉停炉后,控制高温进水阀门和高温出水阀门关闭、控制冷却水进水阀门和冷却水出水阀门开启、控制电极水循环泵启动。
10.根据权利要求1所述的硅棒快速降温系统,其特征在于:所述钟罩夹套为螺旋导流板结构。
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