[实用新型]一种Scrubber设备进气管路自动冲洗装置

说明书

本实用新型公开了一种Scrubber设备进气管路自动冲洗装置，Scrubber设备，其顶部设有进气管路；所述进气管路通过水泵供水进行清洗；所述水泵的出水管上还安装有可间隔一定时间对进气管路清洗的自动冲洗装置。本实用新型有益技术效果：操作简便,自动冲洗的功能,代替之前的手动清洗,节省人力,降低成本；自动冲洗，有效的避免了Scrubbber设备进气管路的堵塞，可以让其前端设备干泵良好的运行，延长干泵的使用寿命，降低维修成本；避免Scrubber设备进气管路堵塞，可以减少泵停导致的ICP机台Down机，提高产品良率，增加产能。

技术领域

本实用新型涉及ICP干法蚀刻气体净化处理设备清洗装置，具体为种Scrubber设备进气管路自动冲洗装置。

背景技术

ICP干法蚀刻设备是在蓝宝石平片衬底上用标准的蚀刻工艺将掩膜刻出图形，再利用ICP蚀刻技术刻蚀蓝宝石,并去掉掩膜，使平片蓝宝石衬底上产生图形,以此来提高LED的发光率。

Scrubber设备是一种气体净化处理设备,对ICP在蚀刻过程中产生的尾气进行净化处理。当尾气进入到Scrubber设备端顶部的管道内,尾气及尾气经化学反应产生的残留物容易附着在管道口，很容易造成管道口及附近堵塞,导致尾气无法进入Scrubber设备内部净化。

尾气堵塞在Scrubber设备顶部与干泵之间的管路内（即Scrubber设备进气管路），造成管道内压力增大，会导致泵停，造成ICP机台Down机，降低产品良率，影响产能。Scrubber设备顶部堵塞也会对干泵运行造成影响，减少干泵的使用寿命，增加维修成本。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于解决Scrubber设备进气管路经常容易堵塞,导致泵停ICP机台Down机,造成蚀刻不良,影响产能；以及解决Scrubber设备进气管路需要人员每天定期手动冲洗,有时候冲洗不及时导致管路的堵塞,节省了人力,很好的避免了Scrubber设备进气管路的堵塞。

本实用新型是通过如下技术方案，一种Scrubber设备进气管路自动冲洗装置，

Scrubber设备，其顶部设有进气管路；所述进气管路通过水泵供水进行清洗；

所述水泵的出水管上还安装有可间隔一定时间对进气管路清洗的自动冲洗装置。

作为本实用新型所述的一种Scrubber设备进气管路自动冲洗装置的优选方案：所述自动冲洗装置，包括可设定时间间隔供电的循环时间继电器，与循环时间继电器电性连接的两位五通电磁阀，以及通过气管与两位五通电磁阀连通的气动阀；所述气动阀安装在水泵的出水管上；

所述循环时间继电器与厂务的电源连接；

所述两位五通电磁阀含有一个进气端和两个出气端；所述进气端与厂务的氮气供应管道连通，两个所述出气端分别与气动阀连通，实现气动阀的开启和关闭。

作为本实用新型所述的一种Scrubber设备进气管路自动冲洗装置的优选方案：所述气动阀为UPVC气动阀。

作为本实用新型所述的一种Scrubber设备进气管路自动冲洗装置的优选方案：所述进气管路内壁上安装有与水泵连通的清洗喷头。

本实用新型有益技术效果：

1)操作简便,自动冲洗的功能,代替之前的手动清洗,节省人力,降低成本；

2)自动冲洗，有效的避免了Scrubbber设备进气管路的堵塞，可以让其前端设备干泵良好的运行，延长干泵的使用寿命，降低维修成本；

3）避免Scrubber设备进气管路堵塞，可以减少泵停导致的ICP机台Down机，提高产品良率，增加产能；