[实用新型]一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台

权利要求书

1.一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，其特征在于，包括：大理石平台和大理石横梁，所述大理石平台上安装包括Y轴丝杆的Y轴丝杆传动组件，所述大理石平台两相对边设置Y轴导轨，所述Y轴导轨与所述Y轴丝杆平行，所述大理石横梁的底部设有套于Y轴丝杆外部的连接板以及能够在Y轴导轨上移动的立柱，所述大理石横梁安装有X轴丝杆传动组件，所述白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台还包括Z轴组件，所述X轴丝杆传动组件能够驱动Z轴组件在X轴方向上移动，所述Z轴组件包括交叉导轨、滑板、Z轴丝杆传动组件，所述交叉导轨连接所述滑板，所述Z轴丝杆传动组件能够驱动所述滑板在交叉导轨上沿Z轴上下移动，所述滑板上安装单筒镜头和白光聚焦位移传感器，所述X轴丝杆传动组件包括X轴马达、X轴丝杆、以及X轴马达和X轴丝杆的联轴器，所述大理石横梁还安装X轴线性导轨，所述X轴线性导轨与所述X轴丝杆平行，所述滑板套在X轴丝杆上，两端与所述X轴线性导轨配合。

2.根据权利要求1所述的一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，其特征在于，所述滑板还包括上滑面，所述上滑面边缘设置卡边，在所述大理石横梁上设置滑槽轨道，所述滑槽轨道与所述X轴轨道平行，所述上滑面能够通过卡边在滑槽轨道内滑动。

3.根据权利要求2所述的一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，其特征在于，所述滑板外部还设置壳体和盖板，所述壳体下方能够露出所述单筒镜头和白光聚焦位移传感器，所述壳体背面能够露出所述卡边，以使得所述卡边能够在大理石横梁上的滑槽轨道内滑动。

4.根据权利要求1所述的一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，其特征在于，所述连接板上有沿X轴的下光源导轨，所述下光源导轨上有固定下光源治具。

5.根据权利要求4所述的一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，其特征在于，在所述X轴线性导轨上固定有滑轮,所述滑轮用于带动下光源沿下光源导轨运行。

6.根据权利要求1所述的一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，其特征在于，所述大理石平台固定在钣金底座上。

7.根据权利要求1所述的一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，其特征在于，所述大理石平台上表面四周还设置平台壳体。

8.根据权利要求7所述的一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，其特征在于，所述平台壳体的前钣金上固定启动按钮与急停按钮。

9.根据权利要求1所述的一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，其特征在于，所述滑板通过单筒镜头固定件安装单筒镜头。

10.根据权利要求1所述的一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，其特征在于，所述滑板上设置传感器抱箍，滑板通过所述传感器抱箍安装所述白光聚焦位移传感器。