[实用新型]一种抛光机漏液槽有效
| 申请号： | 202023097806.7 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN214025178U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 寇明虎;刘泳沣 | 申请（专利权）人： | 北京特思迪半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101300 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抛光机 漏液槽 | ||
【权利要求书】：
1.一种抛光机漏液槽，其特征在于：包括槽体、漏液孔、槽体固定块、摆动臂轴孔和研磨盘孔，所述摆动臂轴孔和研磨盘孔设置在槽体内部并贯穿漏液槽的底部，其中，所述研磨盘孔用于安装抛光机的研磨盘，所述摆动臂轴孔用于安装抛光机的摆动臂轴，所述槽体固定块固定连接在槽体侧面，用于固定安装该抛光机漏液槽，所述漏液孔设置在槽体的底部。
2.根据权利要求1所述的一种抛光机漏液槽，其特征在于：所述槽体的底部为斜坡设计，所述漏液孔固定设置在漏液槽底部斜度的最低点处。
3.根据权利要求2所述的一种抛光机漏液槽，其特征在于：所述槽体、漏液孔、槽体固定块、摆动臂轴孔和研磨盘孔的材质均为PVC材料。
4.根据权利要求1、2或3所述的一种抛光机漏液槽，其特征在于：所述抛光机漏液槽为一体成型。
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