[实用新型]一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备

权利要求书

1.一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备，包括：进气管(21)，出气管(25)，进气管(21)与出气管(25)通过吸附塔(23)连接在一起，所述吸附塔(23)内设置有脱氧装置(24)，其特征在于，

脱氧装置(24)包括有第三脱氧层(241)、第二脱氧层(242)、第一脱氧层(243)，所述第三脱氧层(241)、第二脱氧层(242)、第一脱氧层(243)均被夹层(244)包裹在内，三脱氧层(241)、第二脱氧层(242)、第一脱氧层(243)内填充的脱氧剂均不相同。

2.根据权利要求1所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备，其特征在于，所述第三脱氧层(241)的脱氧剂还原性大于第二脱氧层(242)，所述第二脱氧层(242)的脱氧剂还原性大于第一脱氧层(243)。

3.根据权利要求2所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备，其特征在于，所述第三脱氧层(241)的脱氧剂密度大于第二脱氧层(242)，所述第二脱氧层(242)的脱氧剂密度大于第一脱氧层(243)。

4.根据权利要求1所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备，其特征在于，所述夹层(244)包括夹筒(442)，夹筒(442)内有空腔，所述空腔两侧均设置有弹性条(443)，靠近所述第三脱氧层(241)、第二脱氧层(242)、第一脱氧层(243)的一侧开设有若干个溜槽(441)。

5.根据权利要求3所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备，其特征在于，所述第三脱氧层(241)、第二脱氧层(242)、第一脱氧层(243)的进气端处设置有进气架(246)，所述进气架(246)上架设有若干进气口。

6.根据权利要求1所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备，其特征在于，进一步包括卡紧头(245)，固定在夹层(244)的底部，与吸附塔(23)卡接在一起。

7.根据权利要求1所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备，其特征在于，所述吸附塔(23)上设置有真空管(22)，所述真空管(22)外接真空机。

8.根据权利要求7所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备，其特征在于，所述吸附塔(23)顶部还设置有温度测量仪(26)。

9.根据权利要求1所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备，其特征在于，所述吸附塔(23)的顶部通过法兰锁紧有盖板(27)。

10.根据权利要求1所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附设备，其特征在于，所述吸附塔(23)可串联多个以上。