[实用新型]抛光机及其工件盘

说明书

本实用新型涉及一种抛光机及其工件盘，所述工件盘上设有多个用于放置待抛光工件的型腔；所述型腔沿长度方向包括第一端和第二端，各所述型腔的第一端朝向所述工件盘的中部，各所述型腔的第二端朝向所述工件盘的边缘；多个所述型腔沿所述工件盘的周向分布，且呈自所述工件盘的中部向边缘延伸的辐射状。当盖板玻璃置于该抛光机的工件盘型腔上进行抛光加工时，盖板玻璃的内弧位置位于型腔的第一端或第二端，优选位于型腔的第一端，此时地毯等抛光介质对内弧位置的受力较小，且盖板玻璃的内弧位置在工件盘的正反转时受力一致，整体均匀性好，抛光效率好，抛光后内弧位置的差异不明显，可以规避槽压痕的风险。

技术领域

本实用新型涉及抛光技术领域，特别是涉及一种抛光机及其工件盘。

背景技术

传统的抛光机采用行星轮方式，抛光机的工件盘在电机带动下，围绕中心轴公转的同时进行自转，利用上盘(即抛光盘)产生的压力施加于位于下方的工件盘上的待抛光工件表面，例如盖板玻璃表面；工件盘与抛光盘同时高速旋转运动，抛光盘上的抛光介质对盖板玻璃的平面与2.5D弧面进行抛光。

一般地，工件盘上可以同时摆放多个待抛光的盖板玻璃；进一步地，为了使待抛光工件在抛光过程中能够更好地固定，工件盘上设有用于放置各待抛光工件的型腔。由于盖板玻璃一般为长方形，目前的工件盘上的型腔的设置方式是以型腔的长度方向依次设置，且长度方向与工件盘的半径方向垂直，形成围绕工件盘的圆心的环形摆盘方式。如图1所示，采用环形摆盘方式可保证工件盘的利用最大化，单个工件盘可放置盖板玻璃20的数量为9片，其中3片盖板玻璃20形成较小的圆环L11，另外6片盖板玻璃20形成同心设置的较大的圆环L12。

由于地毯抛光机中的1个抛光盘对应5个工件盘，工件盘在抛光加工时会正反向转动，工件盘与抛光盘的地毯等抛光介质的运动方向在盖板玻璃的内弧位置产生一定夹角，地毯等抛光介质在夹角位置比较集中，频繁磨削内弧位置，导致内弧位置的磨削量相比其它弧面部位的磨削量更大，造成内弧位置的局部凹陷0.002～0.005mm，凹陷表现为槽压痕。采用该环形摆放方式加工产品的槽压痕不良比例为4％～6％之间。

针对槽压痕不良的问题，目前的改进技术方法有两种。一种方法是降低抛光时上盘的压力，减少整体表面磨削量，这种方式虽然可以降低槽压痕不良比例，但是会造成盖板玻璃的磨削量不足、弧面未磨透的现象。另一种方法是通过调整各个工件盘的高度差异，减少工件盘的受力差异，提高加工时盖板玻璃的受力均匀性，但对于机台盘面安装要求很高，大批量机台调整工件盘很耗时，难做到很好的一致性。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能够降低槽压痕不良率、且保证抛光效果、无需增加安装成本的抛光机及其工件盘。

本实用新型是通过如下的技术方案实现的：

本实用新型的一个方面，提供了一种抛光机的工件盘，所述工件盘上设有多个用于放置待抛光工件的型腔；所述型腔沿长度方向包括第一端和第二端，各所述型腔的第一端朝向所述工件盘的中部，各所述型腔的第二端朝向所述工件盘的边缘；多个所述型腔沿所述工件盘的周向分布，且呈自所述工件盘的中部向边缘延伸的辐射状。

在其中一些实施例中，所述型腔的长度方向与该型腔的中心点所在的半径方向之间形成夹角α，其中，0≤α＜90度。

在其中一些实施例中，0≤α≤60度。

在其中一些实施例中，0≤α≤45度。

在其中一些实施例中，各所述型腔的长度方向与该型腔的中心点所在的半径方向之间形成的夹角α均为锐角。

在其中一些实施例中，各所述型腔的长度方向与该型腔的中心点所在的半径方向之间形成的夹角α均满足如下条件：0＜α≤45度。

在其中一些实施例中，各所述型腔的长度方向相对于与该型腔的中心点所在的半径方向的倾斜角度和倾斜方向均相同。