[实用新型]一种用于晶体生长炉提升装置的导向轮有效
申请号: | 202023106440.5 | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN213951413U | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 李成龙 | 申请(专利权)人: | 无锡三麟精密金属制品有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 晶体生长 提升 装置 导向 | ||
本实用新型公开了一种用于晶体生长炉提升装置的导向轮,包括固定杆和导向轮本体,所述导向轮本体的两侧通过固定盘栓接有连接板,所述固定杆的上下处各栓接有加长螺栓,所述固定杆通过螺丝与连接板固定连接,所述导向轮本体的表面设置有涂层。该实用新型表面设置的转筒来用于固定钨丝绳的位置,专业定位于导向轮的中间位置,减少钨丝绳的来回磨损,而导向轮本体外表面利用电弧蒸发技术均匀镀上的氮铝铬涂层,硬度提高三倍多,钨丝绳在导向轮上摩擦时不会产生划痕及其他摩擦纹路,从而不会引起表面掉渣,这样不会因为不锈钢渣滓掉入晶体生长炉中而导致炉中的晶圆提炼的纯度不高。
技术领域
本实用新型涉及提升装置辅助设备的技术领域,特别涉及一种用于晶体生长炉提升装置的导向轮。
背景技术
目前半导体(光伏)晶圆原材料的提炼均是采用的晶体生长炉来进行提炼,提炼过程往往需要利用提升装置拉动钨丝绳进行提炼晶圆柱,传统的提升装置中会使用导向轮来对钨丝绳进行定位导向来进行引导提炼,但在提炼过程中导向轮会与钨丝绳来回摩擦,一般导向轮采用的是不锈钢材质,而不锈钢材质的耐磨性一般都很差,使导向轮表面很容易起绳印子和摩擦纹路,表面会引起掉渣情况,且因为导向轮正好处于晶体生长炉的顶部,会使不锈钢渣掉入炉内导致提炼不纯,且对钨丝绳表面造成比较大的损伤,从而导致钨丝绳使用寿命降低。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种用于晶体生长炉提升装置的导向轮,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:包括固定杆和导向轮本体,所述导向轮本体的两侧通过固定盘栓接有连接板,所述固定杆的上下处各栓接有加长螺栓,所述固定杆通过螺丝与连接板固定连接,所述导向轮本体的表面设置有涂层。
进一步地,所述连接板采用的是V型结构,且连接板之间的间距大于导向轮本体的宽度。
进一步地,所述涂层采用的是氮铝铬材质。
进一步地,所述导向轮本体采用的是喇叭型结构,所述导向轮本体的中部设置有转筒,所述转筒的表面开有防滑槽。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:该种实用新型表面设置的转筒来用于固定钨丝绳的位置,专业定位于导向轮的中间位置,减少钨丝绳的来回磨损,而导向轮本体外表面利用电弧蒸发技术均匀镀上的氮铝铬涂层,使储绳轮的表面硬度为 hv2800,比之原有的不锈钢储绳轮的硬度hv850提升了三倍之多,使钨丝绳在导向轮上摩擦时不会产生划痕及其他摩擦纹路,从而不会引起表面掉渣,这样不会因为不锈钢渣滓掉入晶体生长炉中而导致炉中的晶圆提炼的纯度不高,而利用V型连接板来固定导向轮,使导向轮在受钨丝绳的牵引而不晃动,定位效果较好。
附图说明
图1为本实用新型的导向轮整体设备的结构示意图。
图2为本实用新型的导向轮的结构示意图。
图中:1、加长螺栓;2、螺丝;3、固定杆;4、导向轮本体; 5、固定盘;6、涂层;7、转筒;8、连接板。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段;创作特征;达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
如图1-2所示,包括固定杆3和导向轮本体4,所述导向轮本体4的两侧通过固定盘5栓接有连接板8,所述固定杆3的上下处各栓接有加长螺栓1,所述固定杆3通过螺丝2与连接板8 固定连接,所述导向轮本体4的表面设置有涂层6。
其中,所述连接板8采用的是V型结构,且连接板8之间的间距大于导向轮本体4的宽度,V型结构的连接板8可提高对导向轮本体4的固定稳定性。
其中,所述涂层6采用的是氮铝铬材质,涂层6将导向轮本体4的硬度提升三倍多,减少钨丝绳与导向轮本体4之间的摩擦,确保无不锈钢渣掉入炉内。
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