[实用新型]一种半导体基础材料自动粘接系统有效
申请号: | 202023106802.0 | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN213954104U | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 马武平;邓鹤鸣;侯晓敏;吴卿;白小锋;周娟莉 | 申请(专利权)人: | 西安捷盛电子技术有限责任公司 |
主分类号: | F16B11/00 | 分类号: | F16B11/00;B05C5/02;B05C11/08;B05C13/02;B08B5/02 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 王营超 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 基础 材料 自动 系统 | ||
1.一种半导体基础材料自动粘接系统,其特征在于:包括底座(1)、台面板(2)、大三维平台(3)、滴蜡抓取机构(5)、甩蜡机构(7)、挤压机构(10)、小三维平台(11)、气路组件(12)、上料机构(13)、卸料对中机构(18)、落料台(19)和电气控制组件(20),其中台面板(2)固定于底座(1)上表面,大三维平台(3)固定于台面板(2)上表面左侧,小三维平台(11)固定于台面板(2)上表面右侧,所述上料机构(13)设置于台面板(2)中间靠左侧位置,并且上料机构(13)位于大三维平台(3)中间位置,所述滴蜡抓取机构(5)设置于大三维平台(3)上,挤压机构(10)设置于小三维平台(11)上,所述卸料对中机构(18)设置于台面板(2)中间靠右侧位置,并且卸料对中机构(18)位于小三维平台(11)中间位置,所述甩蜡机构(7)固定于台面板(2)下表面中心位置并且位于底座(1)中,甩蜡机构(7)上端穿过台面板(2)位于大三维平台(3)和小三维平台(11)中间位置,所述落料台(19)设置于台面板(2)上表面并且位于卸料对中机构(18)下方,所述大三维平台(3)和小三维平台(11)均沿台面板(2)向X轴、Y轴和Z轴方向运动,所述大三维平台(3)、滴蜡抓取机构(5)、甩蜡机构(7)、挤压机构(10)、小三维平台(11)、上料机构(13)和卸料对中机构(18)分别与气路组件(12)和电气控制组件(20)连接,其中气路组件(12)与电气控制组件(20)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体基础材料自动粘接系统,其特征在于:所述滴蜡抓取机构(5)包括吹气机构(4)、滴蜡组件(6)、第一真空吸盘(5-1)、第二真空吸盘(5-2)、第三真空吸盘(5-3)、四组抓取气缸(5-4)和固定板(5-5),其中吹气机构(4)、滴蜡组件(6)、第一真空吸盘(5-1)、第二真空吸盘(5-2)和第三真空吸盘(5-3)依次固定于固定板(5-5)上,所述第一真空吸盘(5-1)、第二真空吸盘(5-2)、第三真空吸盘(5-3)和滴蜡组件(6)分别连接一组抓取气缸(5-4),四组抓取气缸(5-4)分别连接气路组件(12),所述吹气机构(4)和滴蜡组件(6)分别与电气控制组件(20)电连接,所述第一真空吸盘(5-1)、第二真空吸盘(5-2)、第三真空吸盘(5-3)用于吸附上料机构(13)上的物品。
3.根据权利要求2所述的一种半导体基础材料自动粘接系统,其特征在于:所述上料机构(13)包括安装支架(13-1)、四副上料直线导轨副(13-2)、四组上料气缸(13-3)、连接左弯板(13-4)、托盘(13-5)、连接右弯板(13-6)和专用片盒(17),专用片盒(17)固定于托盘(13-5)上,所述四组上料气缸(13-3)通过安装支架(13-1)固定在台面板(2)上,上料气缸(13-3)的活塞杆与托盘(13-5)连接,托盘(13-5)两侧分别与连接左弯板(13-4)和连接右弯板(13-6)连接,连接左弯板(13-4)和连接右弯板(13-6)分别与上料直线导轨副(13-2)连接,上料气缸(13-3)与气路组件(12)连接;当上料气缸(13-3)的活塞杆向前推出,托盘(13-5)和专用片盒(17)向前移动,连接左弯板(13-4)和连接右弯板(13-6)以及上料直线导轨副(13-2)起到导向辅助支撑的作用,所述专用片盒(17)上放置有玻璃基板(14)、半导体芯片(16)及四条陪边(15),其中第一真空吸盘(5-1)用于吸附玻璃基板(14),第二真空吸盘(5-2)用于吸附半导体芯片(16),第三真空吸盘(5-3)用于吸附陪边(15)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体基础材料自动粘接系统,其特征在于:所述挤压机构(10)包括第一模组(10-1)、第二模组(10-14)、连接支板(10-6)、移动支架(10-15)、第一挤压机构(10-16)和第二挤压机构(10-17),其中第一模组(10-1)与第二模组(10-14)呈90°分布叠加而成,第一模组(10-1)上端通过连接支板(10-6)与移动支架(10-15)固定连接,第二模组(10-14)固定于移动支架(10-15)上,所述第一模组(10-1)下端连接第一挤压机构(10-16),第二模组(10-14)下端连接第二挤压机构(10-17),所述移动支架(10-15)一侧连接小三维平台(11)。
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