[实用新型]一种位移台分辨率和精度检测装置

权利要求书

1.一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：包括基座，所述基座的顶端设置有位移台，所述位移台上的一侧设置有显微镜，所述显微镜的上部设置有目镜，所述位移台的一侧设置有槽口，所述槽口内安装有物镜，所述位移台靠近物镜的两侧均设置有连接机构，两个所述连接机构分别活动连接有安装支架，所述安装支架的一侧抵接在物镜的镜头上，所述安装支架的另一侧设置有分辨率板。

2.根据权利要求1所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述目镜的下部设置有套筒，所述套筒活动套接在显微镜的上部。

3.根据权利要求2所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述安装支架呈“7”字状且包括侧板与底板，所述侧板的一侧中部设置有防护槽。

4.根据权利要求3所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述防护槽的底壁边缘嵌套有抵接垫，所述防护槽与物镜的镜头相适配，所述抵接垫抵接在物镜的镜头边沿。

5.根据权利要求4所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述底板的上部一侧设置有定位槽，所述防护槽与物镜的镜头相接触时，所述定位槽与物镜的外部轮廓边相接触。

6.根据权利要求5所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述分辨率板设置在侧板的另一侧外壁上，且所述连接机构伸缩实现分辨率板与物镜间的间距调节。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述连接机构包括设置在位移台两侧的转动销，所述转动销内套接有连接套。

8.根据权利要求7所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述连接套的一端固定有伸缩杆，所述伸缩杆通过转动销转动，且所述伸缩杆的一侧设置有定位销。

9.根据权利要求8所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述定位销的一侧穿过伸缩杆且与侧板相连接，所述侧板在伸缩杆上实现旋转定位。

10.根据权利要求9所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述基座的下部设置有垫脚，所述垫脚采用环氧树脂材料所制成。