[实用新型]一种真空蒸镀机的加热灯结构

说明书

本申请提供一种真空蒸镀机的加热灯结构，能够调整加热灯的辐射角度，使腔体内的温度均匀，并且安装及拆卸方便；所述真空蒸镀机的加热灯结构，设置在真空蒸镀机的腔室的底面板上，所述加热灯结构包括：竖杆、连接件、折弯件、和加热灯盒，竖杆的底部与真空蒸镀机的腔室的底面板固定，折弯件的一端通过连接件与竖杆连接，通过连接件能够调节折弯件与竖杆连接的高度位置，从而调节加热灯盒的高度，折弯件的另一端与加热灯盒连接，加热灯盒能够相对折弯件运动，从而调节加热灯盒的角度，折弯件包括水平部和倾斜部，倾斜部与加热灯盒连接，倾斜部向着真空蒸镀机的腔室的中心，加热灯盒相对倾斜部运动时始终向着真空蒸镀机的腔室的中心线。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的加热灯结构。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。

在真空蒸镀的加工工艺中，一般包括设置在腔体下方的坩埚、以及设置在坩埚上方用来承载被镀膜工件的伞状治具，伞状治具固定被镀膜工件，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成薄膜(镀膜)。

但是，在此过程中，因为蒸镀的蒸镀材料相对敏感，若蒸镀时其蒸镀腔体内的水蒸汽含量比较高，会对蒸镀效果以及面板的光电指标及器件寿命造成不利的影响。因此，目前在蒸镀前，利用相关方式加速腔体内水蒸汽的蒸发，降低腔体内的水蒸汽含量，目前降低腔体内水蒸汽含量的方法主要有：1.通过电阻丝对腔体进行加热(温度设置为80℃、加热时间为8小时)，但用此方式处理水汽，不仅耗时久，影响OLED产能。2.目前比较常用的方式为，在腔体内设置加热灯，该加热灯固定在腔室的底面，斜向上发光，但是该加热灯的幅射范围有限，腔体内的温度不均匀，影响腔体内水蒸汽蒸发的效果。

有鉴于此，本实用新型提供一种真空蒸镀机的加热灯结构，能够调整加热灯的幅射角度，使腔体内的温度均匀，并且安装及拆卸方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种真空蒸镀机的加热灯结构，能够调整加热灯的幅射角度，使腔体内的温度均匀，并且安装及拆卸方便。

本申请的真空蒸镀机的加热灯结构，能够调整加热灯盒的高度，从而方便安装和拆卸，并且更利于调节加热灯盒的精度。并且，能够调整加热灯盒的的角度，更重要的是，其角度的调节不是任意调节都能够达到加热灯幅射均匀、真空蒸镀机的腔体内的温度均匀的效果，加热灯盒调整角度时，始终是向心的，即不论真空蒸镀机的腔室是什么形状及大小，加热灯盒调整角度时始终向着真空蒸镀机的腔室的中心线。此外，本申请的真空蒸镀机的加热灯结构还进一步在加热灯盒的盒体部的底面上设置有反射板，反射板凸出于盒体部的底面，反射板的设置可以使得加热灯发出的光线及热量更集中。本申请人在此基础上完成本申请。

一种真空蒸镀机的加热灯结构，设置在真空蒸镀机的腔室的底面板上，其特征在于，所述加热灯结构包括：竖杆1、连接件2、折弯件3、和加热灯盒4，竖杆1的底部与真空蒸镀机的腔室的底面板固定，折弯件3的一端通过连接件2与竖杆1连接，通过连接件2能够调节折弯件3与竖杆1连接的高度位置，从而调节加热灯盒4的高度，折弯件3的另一端与加热灯盒4连接，加热灯盒4能够相对折弯件3运动，从而调节加热灯盒4的角度，折弯件3包括水平部31和倾斜部32，倾斜部32与加热灯盒4连接，倾斜部32向着真空蒸镀机的腔室的中心，加热灯盒4相对倾斜部32运动时始终向着真空蒸镀机的腔室的中心线。

在一些实施方式中，所述加热灯结构有一个或者多个，优选的，所述加热灯结构有4个，分别位于真空蒸镀机的腔室的底面板的四个边角。