[实用新型]半自动清洗机的取料机构

说明书

本实用新型公开了一种半自动清洗机的取料机构，包括第一取料杆、第二取料杆以及驱动所述第一取料杆和所述第二取料杆同时相对/相反方向转动的转动结构；所述转动结构包括电机、第一转动块、第二转动块和连杆，所述第一转动块与所述第一取料杆连接，所述第二转动块与所述第二取料杆连接，所述连杆的一端与所述第一转动块连接，所述连杆的另一端与所述第二转动块连接；所述电机的输出轴上安装有第一齿轮，所述第一取料杆上安装有第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮套设有同步齿轮皮带。本实用新型全自动实现产品的取出和放回，结构精简，能够降低设备的生产成本。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，特别是涉及一种半自动清洗机的取料机构。

背景技术

现在的圆晶制造过程中，圆晶表面会附着各种有机化合物、金属杂质和微粒等，而圆晶表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一，如果不对其清洗会大大降低半导体器件的性能和合格率，所以在半导体器件制造过程中，有20％的步骤为对圆晶的清洗，去除依附于圆晶表面上的有机化合物、金属杂质和微粒等污染物，提高半导体器件的性能和合格率。

圆晶清洗时会使用到腐蚀性的清洗剂，因此需要将产品通过耐腐蚀性机构转移至指定的清洗槽内。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种半自动清洗机的取料机构，全自动实现产品的取出和放回，结构精简，能够降低设备的生产成本。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：一种半自动清洗机的取料机构，包括第一取料杆、第二取料杆以及驱动所述第一取料杆和所述第二取料杆同时相对/相反方向转动的转动结构，所述第一取料杆上安装有至少一个第一取料臂，所述第二取料杆上安装有至少一个第二取料臂；

所述转动结构包括电机、第一转动块、第二转动块和连杆，所述第一转动块与所述第一取料杆连接，所述第二转动块与所述第二取料杆连接，所述连杆的一端与所述第一转动块连接，所述连杆的另一端与所述第二转动块连接；

所述电机的输出轴上安装有第一齿轮，所述第一取料杆上安装有第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮套设有同步齿轮皮带。

本实用新型为解决其技术问题所采用的进一步技术方案是：

进一步地说，还包括取料传感结构，所述取料传感结构包括接触臂、弹性连接件、接触座和传感器，所述弹性连接件的一端与所述接触臂连接，所述弹性连接件的另一端与所述接触座连接，所述传感器位于所述接触座的上方，所述接触座和所述传感器皆与保护外壳固定连接，所述保护外壳与所述第一取料臂/所述第二取料臂连接。

进一步地说，所述传感器的自由端为圆弧端，所述接触座与所述传感器接触的端面为圆弧端。

进一步地说，所述传感器的外周下部套有弹性件。

进一步地说，所述第一取料杆上安装有两个所述第一取料臂，两个所述第一取料臂沿所述第一取料杆的轴向分布；所述第二取料杆上安装有两个所述第二取料臂，两个所述第二取料臂沿所述第二取料杆的轴向分布。

进一步地说，所述连杆的一端与所述第一转动块的上部连接，所述连杆的另一端与所述第二转动块的下部连接。

进一步地说，所述接触臂垂直位于所述第一取料臂/第二取料臂的上方。

进一步地说，所述第一取料臂和所述第二取料臂皆由耐腐蚀性材质制成。

本实用新型的有益效果至少具有以下几点：

1、本实用新型通过电机驱动第一取料杆和第二取料杆同时相对或相反方向转动，以使第一取料臂和第二取料臂同时相对或相反方向转动，实现产品的取出和放回的动作，结构精简，自动化程度高；