[实用新型]一种复合衬底有效
| 申请号： | 202023113195.0 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN214705900U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 至芯半导体（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/14 | 分类号： | H01L23/14;H01L23/13;H01L29/12 |
| 代理公司： | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人： | 彭随丽 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 衬底 | ||
【权利要求书】：
1.一种复合衬底，包括衬底基板（101），其特征在于：所述衬底基板（101）上交错分布有凹槽，凹槽中填充异质材料填充层（102），异质材料填充层（102）上表面低于衬底基板（101）上表面；衬底基板（101）和异质材料填充层（102）的折射率相异且异质材料填充层（102）的折射率由底至上单调增减。
2.如权利要求1所述的复合衬底，其特征在于：所述凹槽为条状，以纵横垂直网格分布。
3.如权利要求1所述的复合衬底，其特征在于：所述凹槽宽度为10~1000µm，深度为10~200µm。
4.如权利要求1所述的复合衬底，其特征在于：有氮化物层（103）覆盖在衬底基板（101）和异质材料填充层（102）上。
5.如权利要求4所述的复合衬底，其特征在于：所述氮化物层（103）厚度为5~100nm。
6.如权利要求4所述的复合衬底，其特征在于：衬底基板（101）上覆盖的氮化物层（103）和异质材料填充层（102）上覆盖的氮化物层（103）厚度相同。
7.如权利要求1所述的复合衬底，其特征在于：所述衬底基板（101）为蓝宝石、碳化硅、氧化锌、玻璃、金属中的一种。
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