[实用新型]一种均匀加热的退火炉

说明书

本实用新型公开了一种均匀加热的退火炉，具体涉及退火炉技术领域，包括基座，所述基座顶部设有加热翻转机构，所述加热翻转机构包括退火炉本体，所述退火炉本体设置在基座的顶部，所述退火炉本体设置为中空，所述退火炉本体一侧开设有进料口。本实用新型通过设置加热翻转机构，第一传送带在进行传送时，会使得第一齿轮转动，继而使得第二齿轮转动，通过第二齿轮的转动带动风车翻转盘的转动，继而使得卡在风车翻转盘弧面内的物料得以翻转，物料在进行传送的过程中实现均匀加热处理，能够有效的增加工作效率，整个过程中不仅让物料受到均匀加热处理，还免去了人工翻面的繁琐步骤，减轻工作人员劳动强度，进一步的提高了物料退火的效率。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种均匀加热的退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

但是在实际使用时，现有的退火炉在对物料退火处理时，都会有着加热不均的缺陷，并且，不便于工作人员操作，会增加额外的工作强度，更会影响加工件的退火效果。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种均匀加热的退火炉，通过能够有效的增加工作效率，整个过程中不仅让物料受到均匀加热处理，还免去了人工翻面的繁琐步骤，减轻工作人员劳动强度，进一步的提高了物料退火的效率，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种均匀加热的退火炉，包括基座，所述基座顶部设有加热翻转机构；

所述加热翻转机构包括退火炉本体，所述退火炉本体设置在基座的顶部，所述退火炉本体设置为中空，所述退火炉本体一侧开设有进料口，所述退火炉本体另一侧开设有出料口，所述进料口底部设置有放置板，所述放置板与退火炉本体相连接，所述放置板的顶部设置有第一驱动马达，所述第一驱动马达的输出端设置有第一驱动轮，所述退火炉本体内腔底部固定设置有第一支撑杆，所述第一支撑杆的顶部活动连接有第一从动轮，所述第一从动轮一侧设置有第一齿轮，所述第一驱动轮和第一从动轮的外表面均套设有第一传送带；

所述第一支撑杆一侧设置有第二支撑杆，所述第二支撑杆的顶部活动连接有第二齿轮，所述第二齿轮一侧设置有风车翻转盘，所述第二支撑杆背离第一支撑杆的一侧设置有多个第三支撑杆，多个所述第三支撑杆的顶端均活动连接有第二从动轮，所述第二从动轮的外表面套设有第二传送带，所述退火炉本体内壁设置有隔温层。

在一个优选地实施方式中，所述第一从动轮和第一驱动轮之间设置有多个支撑轮，多个所述支撑轮的底部均设置有第四支撑杆，所述第四支撑杆的底部设置在退火炉本体内腔底部。

在一个优选地实施方式中，所述第一传送带的外表面设置有多个加热圈，所述第一传送带设置在加热圈内。

在一个优选地实施方式中，所述第一齿轮与第二齿轮之间设置有链条，所述第一齿轮和第二齿轮通过链条活动连接。

在一个优选地实施方式中，所述出料口一侧设置有第二驱动马达，所述第二驱动马达的输出端设置有第二驱动轮，所述第二驱动轮设置在第二传送带内。

在一个优选地实施方式中，所述隔温层由铝箔材质制成。

在一个优选地实施方式中，所述基座、退火炉本体、放置板和风车翻转盘均由不锈钢材质制成。

本实用新型的技术效果和优点：