[实用新型]一种制备氟气和含氟混合气的装置

权利要求书

1.一种制备氟气和含氟混合气的装置，其特征在于：所述装置包括无水氟化氢储存钢瓶(1)、连接管道(2)、电解槽(3)、微粒过滤器(4)、一级冷凝器(5)、二级冷凝器(6)、气体混配器(7)、配气储存瓶(8)、充装压缩机(9)、气体储罐(10)、吸附塔(11)和控制系统；

带有进气阀门的无水氟化氢储存钢瓶(1)的输出端通过连接管道(2)与电解槽(3)的输入端相连通，连接管道(2)上设有流量计，设有温控装置的电解槽(3)的输出端通过连接管道(2)与微粒过滤器(4)的输入端相连通，微粒过滤器(4)的输出端通过连接管道(2)与一级冷凝器(5)的输入端相连通，一级冷凝器(5)的输出端通过连接管道(2)与二级冷凝器(6)输入端相连通，二级冷凝器(6)的输出端通过连接管道(2)与吸附塔(11)的输入端相连通，吸附塔(11)的输出端通过连接管道(2)与气体混配器(7)的输入端相连通，配气储存瓶(8)带有配气阀门，输出端通过连接管道(2)与气体混配器(7)的输入端相连通，气体混配器(7)的输出端通过连接管道(2)与充装压缩机(9)的输入端相连通，充装压缩机(9)的输出端通过连接管道(2)与气体储罐(10)的输入端相连通；

所述控制系统为DCS或PLC。

2.根据权利要求1所述的一种制备氟气和含氟混合气的装置，其特征在于：一级冷凝器(5)和二级冷凝器(6)所采用的冷媒均为液氮。

3.根据权利要求1所述的一种制备氟气和含氟混合气的装置，其特征在于：配气储存瓶(8)内装有的配气为氮气、氦气、氖气和氩气中的一种以上。

4.根据权利要求1所述的一种制备氟气和含氟混合气的装置，其特征在于：微粒过滤器(4)的孔径为7μm。

5.根据权利要求1所述的一种制备氟气和含氟混合气的装置，其特征在于：一级冷凝器(5)和二级冷凝器(6)所采用的冷媒均为液氮；

配气储存瓶(8)内装有的配气为氮气、氦气、氖气和氩气中的一种以上；

微粒过滤器(4)的孔径为7μm。