[实用新型]反应炉

说明书

本实用新型公开了一种反应炉，包括基座、炉体、反应管、第一动力模组与散热模组；炉体连接于基座；反应管连接于基座，用于放置待加工物料；第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动，以使位于炉体内的反应管与炉体分离；散热模组用于对分离后的反应管进行散热。上述反应炉中，第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动，当炉体与反应管分离后，散热模组可以对反应管进行单独散热，如此，物料(例如晶圆)可以停留在反应管内进行快速散热，避免被空气中的杂质污染，炉体可以保持在加热状态，能够减少整体散热时间，减少或者省去炉体的再次升温时间，有助于提升效率，减少能耗。

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造领域，尤其是涉及反应炉。

背景技术

随着国内半导体行业的迅速发展，半导体相关设备需求也越来越大，而在晶圆的中低温热处理工艺中，经过热处理后的高温晶圆为防止被空气中的杂质污染，不能直接暴露在空气中冷却，需要在反应管等真空洁净环境中冷却后才能取出。目前，热处理后的晶圆如果要在反应管内自然冷却到常温，就需要先将反应炉整体降温后才能进行冷却，且待下次进行工艺时，加热炉还需重新升温加热，期间花费时间较长，极大影响了产能，增加了能耗。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种反应炉，能够提升效率，减少能耗。

根据本实用新型实施例的反应炉，包括

基座；

炉体，连接于所述基座；

反应管，连接于所述基座，用于放置待加工物料；

第一动力模组，用于驱动所述炉体与所述反应管之间发生相对运动，以使位于所述炉体内的所述反应管与所述炉体分离；

散热模组，用于对分离后的所述反应管进行散热。

根据本实用新型实施例的反应炉，至少具有如下有益效果：

第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动，从而使得承载有待加工物料的反应管进入炉体以进行加工，或者使得炉体内的反应管与炉体分离。当炉体与反应管分离后，散热模组可以对反应管进行单独散热，如此，物料(例如晶圆)可以停留在反应管内进行快速散热，避免被空气中的杂质污染，炉体可以保持在加热状态，能够减少整体散热时间，减少或者省去炉体的再次升温时间，有助于提升效率，减少能耗。

根据本实用新型的一些实施例，还包括反应管固定模组，用于固定所述反应管的一端，所述第一动力模组与所述炉体连接，用于驱动所述炉体运动。

根据本实用新型的一些实施例，所述反应管固定模组包括：

套接件，连接于所述基座，所述套接件套接在所述反应管的外侧，且与所述反应管之间具有间隙；

至少两个柔性支撑件，所述柔性支撑件套接在所述反应管的外侧，位于所述间隙内且分别与所述反应管以及所述套接件接触，各所述柔性支撑件沿所述反应管的轴向分布。

根据本实用新型的一些实施例，所述套接件具有第一环形槽，所述第一环形槽内具有所述柔性支撑件；

所述反应炉还包括第一连接件，所述第一连接件套接在所述反应管的外侧，且与所述套接件连接，以将所述柔性支撑件限制在对应的所述第一环形槽内。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一连接件具有伸入所述第一环形槽内的挤压部，沿所述挤压部的伸入方向，所述第一环形槽的槽壁与所述反应管之间的距离逐渐缩小。

根据本实用新型的一些实施例，所述反应管固定模组还包括高度调节件，所述高度调节件与所述套接件连接，支撑于所述反应管的下方，能够沿竖直方向运动。