[实用新型]一种单晶炉排气筒有效
申请号: | 202023122344.X | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN214458433U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 赵刚;高磊 | 申请(专利权)人: | 内蒙古华耀光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人: | 樊晓敏 |
地址: | 010070 内蒙古自治区呼和浩特*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉排 气筒 | ||
1.一种单晶炉排气筒,包括一级排气筒(1),外排气筒(4),其特征在于,所述一级排气筒(1)连接二级排气筒(2),二级排气筒(2)外侧包裹保温层(3),二级排气筒(2)置于外排气筒(4)中;所述外排气筒(4)与一级排气筒(1)内侧或外侧相嵌合连接;所述一级排气筒(1)和二级排气筒(2)均为石墨材质。
2.根据权利要求1所述的单晶炉排气筒,其特征在于,所述保温层(3)为石墨软毡。
3.根据权利要求1所述的单晶炉排气筒,其特征在于,所述外排气筒(4)为不锈钢材质。
4.根据权利要求1所述的单晶炉排气筒,其特征在于,所述二级排气筒(2)的长度为10-50mm。
5.根据权利要求1所述的单晶炉排气筒,其特征在于,所述二级排气筒(2)的长度为20mm。
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