[实用新型]一种可调节式双面光刻机有效

专利信息
申请号: 202023125163.2 申请日: 2020-12-22
公开(公告)号: CN214504123U 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 张其文 申请(专利权)人: 四川鸿源鼎芯科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 代理人: 徐永雷
地址: 610100 四川省成都市龙泉*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 调节 双面 光刻
【权利要求书】:

1.一种可调节式双面光刻机,包括机体(1)和活动盘(6),其特征在于:所述机体(1)右端设置有机柜(2),且机体(1)上端固定有工作台(3),所述工作台(3)上侧右端连接有显示屏(4),且工作台(3)上侧后端设置有仪表盘(5),所述活动盘(6)连接于工作台(3)上端中部,且活动盘(6)外侧粘接有防滑塞(7),所述活动盘(6)下端连接有驱动轴(8),且驱动轴(8)下端设置有工作电机(9),所述活动盘(6)下侧外边缘处固定有辅助支杆(10),且辅助支杆(10)下端设置有滚轮(12),所述活动盘(6)下侧平行开设有滑槽(11),且活动盘(6)上端设置有机架(13),所述机架(13)上端连接有光刻机本体(14),所述工作台(3)左端下侧活动连接有加固挡片(15),且加固挡片(15)右端中部贯穿有阻尼轴(16),所述工作台(3)左下端中部开设有凹槽(17),且凹槽(17)左端连接有加长板(18)。

2.根据权利要求1所述的一种可调节式双面光刻机,其特征在于:所述活动盘(6)外口结构尺寸与工作台(3)内口结构尺寸相互吻合,且活动盘(6)与工作台(3)之间呈活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种可调节式双面光刻机,其特征在于:所述活动盘(6)与防滑塞(7)呈半包围结构,且防滑塞(7)呈柔性结构。

4.根据权利要求1所述的一种可调节式双面光刻机,其特征在于:所述活动盘(6)通过驱动轴(8)与工作电机(9)之间构成传动结构,且活动盘(6)竖直中轴线与工作台(3)竖直中轴线相重合。

5.根据权利要求1所述的一种可调节式双面光刻机,其特征在于:所述辅助支杆(10)以活动盘(6)竖直中轴线呈环状等距离分布,且辅助支杆(10)与滚轮(12)之间呈固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种可调节式双面光刻机,其特征在于:所述滑槽(11)呈环状,且滑槽(11)与滚轮(12)之间呈活动连接。

7.根据权利要求1所述的一种可调节式双面光刻机,其特征在于:所述加固挡片(15)通过阻尼轴(16)与工作台(3)之间构成翻转结构,且加固挡片(15)关于工作台(3)中轴线呈对称分布。

8.根据权利要求1所述的一种可调节式双面光刻机,其特征在于:所述加长板(18)通过凹槽(17)与工作台(3)之间构成卡扣结构,且加长板(18)与加固挡片(15)之间呈滑动连接。

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